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T/CNIA 0117-2021 电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法

T/CNIA 0117-2021 Determination of Trace Anion Content in High-purity Hydrogen Fluoride for Use in the Electronic Industry by Ion Chromatography

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CNIA 0117-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
71.040.40 化学分析
发布日期
2021-03-19
实施日期
2021-09-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国有色金属工业协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了离子色谱法测定电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子（氯化物、硝酸根、磷酸根、硫酸根）的方法。本文件适用于电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定。测定范围：10.000μg/kg～5000.000μg/kg

发布历史

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研制信息

起草单位：
青海黄河上游水电开发有限责任公司新能源分公司、青海芯测科技有限公司、英格尔检测技术服务（上海）有限公司、亚洲硅业（青海）股份有限公司、瑞士万通中国有限公司、苏州汉谱埃文材料科技有限公司
起草人：
薛心禄、杨晓青、李海霞、支云云、王志强、张君峰、张振洋、田润朝、邢成莉、王利平、宋炳信、徐波
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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