GB/T 32999-2016 表面化学分析 深度剖析 用机械轮 廓仪栅网复型法测量溅射速率

ICS71.040.40

G04

中华人民共和国国家标准

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GBT329992016ISOTR223352007

表面化学分析深度剖析用机械轮

廓仪栅网复型法测量溅射速率

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ISOTR223352007IDT

2016-10-13发布2017-09-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT329992016ISOTR223352007

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2术语和定义………………1

3符号和缩略语……………1

4原理………………………2

5方法………………………2

5.1获取栅网复型图形…………………2

5.2用轮廓仪测量溅射坑深度…………7

5.3计算溅射速率………………………9

6实验室间联合比对结果总结…………………