T/CSES 122-2023 再生水利用 电子级水水源水质

ICS13.030.20

CCSZ05

团体标准

T/CSES122—2023

再生水利用电子级水水源水质

Guidelinesforwaterreuse-ElectronicGradeUltrapureWaterSource

2023-12-20发布2023-12-20实施

中国环境科学学会发布

T/CSES122—2023

目次

前言...........................................................................II

引言..........................................................................III

1范围................................................................................1

2规范性引用文件......................................................................1

3术语和定义..........................................................................1

4缩略语..............................................................................2

5分级和用途..........................................................................2

6水质控制项目及其限值................................................................3

7处理流程与环节......................................................................4

8安全与风险控制......................................................................4

9取样与检测..........................................................................4

附录A（资料性）电子级水制备流程及制备环节和技术................................5

附录B（资料性）高级处理技术选择................................................6

附录C（资料性）水质检测方法....................................................7

参考文献........................................................................8

I

T/CSES122—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由清华大学提出。

本文件由中国环境科学学会归口。

本文件起草单位：

清华大学、江苏中电创新环境科技有限公司、清华大学深圳国际研究生院、清华苏州环境创新研究

院、中国电子系统工程第二建设有限公司、江苏卓胜微电子股份有限公司、武汉京东方光电科技有限公

司、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、杭州科百特过

滤器材有限公司、沃顿科技股份有限公司、佛山柯维光电股份有限公司、北京安力斯科技发展有限公司、

天津中水有限公司、世源科技工程有限公司、中冶京诚工程技术有限公司。

本文件主要起草人：胡洪营、田宇鸣、王文龙、吴乾元、熊江磊、巫寅虎、陈卓、黄南、茅帅龙、

郭宇彬、刘伟、王宸、寇晓康、高月静、张力、张庆胜、金焱、王思亮、何志明、蔡晓涌、姜威、杨磊、

孙青梅、王鹏、梁思懿。

II

T/CSES122—2023

引言

随着我国半导体芯片、显示面板等电子工业自主化快速发展，电子级水的需求大幅增加。传统水资

源越来越难以满足快速增长的电子级水需求。随着再生水处理技术发展，再生水用途不断拓展，越来越

多地用于电子级水水源。但是再生水作为电子级水水源的水质标准缺乏，再生水处理和利用单位缺乏科

学指导和规范。

本文件是再生水利用系列团体标准的一则，其他标准包括：《再生水利用水中病毒富集方法指南》、

《再生水利用吸入暴露毒性评价》《再生水利用效益评价指南》（T/CSES01—2019）和《水回用指

南再生水中药品和个人护理品类微量污染物处理技术》（T/CSES42—2021）等。

III

T/CSES122—2023

再生水利用电子级水水源水质

1范围

本文件规定了用于电子级水水源的再生水分级及水质、处理、安全和检测要求。

本文件适用于作为电子级水水源的再生水，包括城镇污水处理厂出水、电子和半导体工业废水、显

示面板工业废水经处理后满足相应要求的再生水。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

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