GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢
GB/T 16942-1997 Gases for electronic industry—Hydrogen
基本信息
发布历史
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1997年08月
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2009年10月
研制信息
- 起草单位:
- 化学工业部西南化工研究院
- 起草人:
- 陈雅丽、戴培述
- 出版信息:
- 页数:5页 | 字数:7 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ce/T16942一1997
前言
本标准是根据SEMIC3.19-93((钢瓶装氢标准》(95年版)制定的,在技术要求上与之等同,试验方
法与之等效。
在将SEMIC3.19-93转化为本国标准时,结合我国实际情况,删去了SEMIC3.19-93中仅作为
参考的说明和物理常数及注释等内容,试验方法中增加了抽样、采样和氢气纯度三条,除氮含量的测定
采用SEMIC3.19-93的方法外,其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标
准,同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差
异,使标准技术内容更加完整。
本标准由中华人民共和国化学工业部提出。
本标准由化学工业部西南化工研究院归口。
本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院。
本标准主要起草人:陈雅丽、戴培述。
中华人民共和国国家标准
电子工业用气体氢GB/T16942一1997
Gasesforelectronicindustry-Hydrogen
1范围
本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。
本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛,作为外延工
艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料
分子式:H2
相对分子质量:2.016(按1991年国际相对原子质量)
2引用标准
下列标准所包含的条文,通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时,所示版本均
为有效。所有标准都会被修订,使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。
GB/T3634-1995氢气
GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法
GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定露点法
GB/T6285-86气体中微量氧的测定电化学法
GB/T6681-86气体化工产品采样通则
GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法
GB/T8984.3-1997气体中怠烽的Nil宁火怕离子徐洪
3要求
电子工业用氢技术指标应符合表1的要求。
表1技术指标V/V
项目
定制服务
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