GB/T 16942-1997 电子工业用气体 氢

ce/T16942一1997

前言

本标准是根据SEMIC3.19-93((钢瓶装氢标准》(95年版)制定的，在技术要求上与之等同，试验方

法与之等效。

在将SEMIC3.19-93转化为本国标准时，结合我国实际情况，删去了SEMIC3.19-93中仅作为

参考的说明和物理常数及注释等内容，试验方法中增加了抽样、采样和氢气纯度三条，除氮含量的测定

采用SEMIC3.19-93的方法外，其余各项杂质含量的测定分别采用我国相应的通用试验方法国家标

准，同时对检测限和标样要求按SEMI标准规定进行了适当的调整。以上变动与SEMI标准无实质性差

异，使标准技术内容更加完整。

本标准由中华人民共和国化学工业部提出。

本标准由化学工业部西南化工研究院归口。

本标准起草单位:化学工业部西南化工研究院。

本标准主要起草人:陈雅丽、戴培述。

中华人民共和国国家标准

电子工业用气体氢GB/T16942一1997

Gasesforelectronicindustry-Hydrogen

1范围

本标准规定了电子工业用氢的技术要求、试验方法和包装、标志、安全等。

本标准适用于以工业氢为原料经纯化制取的钢瓶装氢气。氢主要被用来提供还原气氛，作为外延工

艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料

分子式:H2

相对分子质量:2.016(按1991年国际相对原子质量)

2引用标准

下列标准所包含的条文，通过在本标准中引用而构成为本标准的条文。本标准出版时，所示版本均

为有效。所有标准都会被修订，使用本标准的各方应探讨使用下列标准最新版本的可能性。

GB/T3634-1995氢气

GB/T5832.1-86气体中微量水分的测定电解法

GB/T5832.2-86气体中微量水分的测定露点法

GB/T6285-86气体中微量氧的测定电化学法

GB/T6681-86气体化工产品采样通则

GB/T8984.1-1997气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

GB/T8984.3-1997气体中怠烽的Nil宁火怕离子徐洪

3要求

电子工业用氢技术指标应符合表1的要求。

表1技术指标V/V

项目