GB/T 16942-2009 电子工业用气体 氢
GB/T 16942-2009 Gas for electronic industry—Hydrogen
国家标准
中文简体
现行
页数：8页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会
适用范围
本标准规定了电子工业用氢的技术要求，试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛，作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。
发布历史
-
1997年08月
-
2009年10月
研制信息
- 起草单位：
- 中国计量科学研究院、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 周泽义、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：8页 | 字数：13 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛７１．１００．２０
犌８６
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１６９４２２００９
代替／—
ＧＢＴ１６９４２１９９７
电子工业用气体氢
—
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉犎犱狉狅犲狀
狔狔犵
２００９１０３０发布２０１００５０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１６９４２２００９
前言
本标准代替／—《电子工业用气体氢》。
ＧＢＴ１６９４２１９９７
本标准与／—相比主要变化如下：
ＧＢＴ１６９４２１９９７
———修改电子工业用氢的适用范围（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４２１９９７１１
———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４２１９９７２２
———修改技术指标内容（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１６９４２１９９７３３
———修改电子工业用氢抽样规则（／—的，本版的、）；
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