GB/T 46227-2025 半导体单晶材料透过率测试方法

ICS77040

CCSH.21

中华人民共和国国家标准

GB/T46227—2025

半导体单晶材料透过率测试方法

Testmethodfortransmittanceofsemiconductorsinglecrystalmaterials

2025-08-29发布2026-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T46227—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会与全国半导体设备和材料标准

(SAC/TC203)

化技术委员会材料分技术委员会共同提出并归口

(SAC/TC203/SC2)。

本文件起草单位中国电子科技集团公司第四十六研究所有色金属技术经济研究院有限责任公

:、

司江苏第三代半导体研究院有限公司松山湖材料实验室新美光苏州半导体科技有限公司有研国

、、、()、

晶辉新材料有限公司安徽光智科技有限公司天通银厦新材料有限公司广东先导微电子科技有限公

、、、

司中电晶华天津半导体材料有限公司中国电子科技集团公司第十三研究所南京盛鑫半导体材料

、()、、

有限公司山东有研半导体材料有限公司山东天岳先进科技股份有限公司广东天域半导体股份有限

、、、

公司北京天科合达半导体股份有限公司云南驰宏国际锗业有限公司杭州镓仁半导体有限公司浙江

、、、、

海纳半导体股份有限公司甬江实验室微谱浙江技术服务有限公司昆山海菲曼科技集团股份有限公

、()、

司河南中宜创芯发展有限公司

、。

本文件主要起草人李静何烜坤李素青许蓉齐海涛索开南胡伟王英明齐兴旺欧琳芳

:、、、、、、、、、、

郝文娟孙雪峰李明达王阳王银海夏秋良朱晓彤张红岩丁雄杰佘宗静匡子登夏宁沈益军

、、、、、、、、、、、、、

吴杰边仿孙毅李欢欢

、、、。

Ⅰ

GB/T46227—2025

半导体单晶材料透过率测试方法

1范围

本文件描述了半导体单晶材料在波长范围内透过率的测量方法

0.2μm~300μm。

本文件适用于硅锗磷化铟硒化镉硫化镉碳化硅氮化镓氧化镓蓝宝石金刚石等半导体单

、、、、、、、、、

晶材料透过率的测定

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

光学仪器术语

GB/T13962

半导体材料术语

GB/T14264

3术语和定义

和界定的以及下列术语和定义适用于本文件

GB/T14264GB/T13962。

31

.

透过率transmittance

透射比

光线通过样品时透过的光通量与起始光通量的百分比

。

32

.

透过率均匀性transmittancehomogeneity

样品一定区域内透过率分布情况

。

33

.

背景光谱backgroundspectrum

在红外光谱仪中无样品存在的情况下测量获得的谱线

,。

注通常包括空气或吹扫氮气等信息

:。

34

.

样品光谱samplespectrum

用测量样品的光谱扣除背景光谱后获得的谱线

。

注在用双光束仪器将样品放置于样品光路参比光路空着时获得在用傅立叶变换红外光谱仪及单光束光谱仪

:,,;

时用测量样品的光谱扣除背景光谱后获得

,。

4方法原理

当一定频率的红外光可见光紫外光通过半导体单晶时由于材料的本征吸收表面散射以及其内

、、,,

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