GB/T 47767-2026 微机电系统(MEMS)技术 压电微悬臂梁机电转换特性的测试方法

ICS3108099

CCSL.59.

中华人民共和国国家标准

GB/T47767—2026/IEC62047-422022

:

微机电系统MEMS技术压电微悬

()

臂梁机电转换特性的测试方法

Micro-electromechanicalsystemstechnology—Measurementmethodsof

electro-mechanicalconversioncharacteristicsofpiezoelectricMEMScantilever

IEC62047-422022Semiconductordevices—Micro-electromechanical

(:,

devices—Part42Measurementmethodsofelectro-mechanicalconversion

:

characteristicsofiezoelectricMEMScantileverIDT

p,)

2026-07-02发布2027-02-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T47767—2026/IEC62047-422022

:

目次

前言

…………………………Ⅲ

范围

1………………………1

规范性引用文件

2…………………………1

术语和定义

3………………1

压电薄膜试验台

4MEMS…………………1

概述

4.1…………………1

功能模块和组件

4.2……………………3

测试中的微悬臂梁

5………………………6

概述

5.1…………………6

测量原理

5.2……………6

逆横向压电系数的测量步骤

5.3………………………7

正横向压电系数的测量步骤

5.4………………………7

测试报告

6…………………7

附录资料性压电微悬臂梁的测量方法示例

A()………9

概述

A.1…………………9

测量步骤

A.2……………9

测量结果

A.3…………………………13

测试报告

A.4…………………………14

参考文献

…………………16

Ⅰ

GB/T47767—2026/IEC62047-422022

:

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件等同采用半导体器件微机电器件第部分柔压电式微机电悬臂

IEC62047-42:2022《42:

梁机电转换特性的测量方法

》。

本文件做了下列最小限度的编辑性改动

:

为与现有标准协调将标准名称改为微机电系统技术压电悬臂梁机电转换特性

———,《(MEMS)

的测试方法

》;

对公式的符号说明进行技术勘误见的注测量的ecV是ec的最小值而

———(4)(5.22),“31,f(in,max)31,f,

ecV是ec的最大值改为测量的ecV是ec的最大值而ecV是

31,f(in,min)31,f”“31,f(in,max)31,f,31,f(in,min)

ec的最小值

31,f”;

对公式的引用进行技术勘误见将公式改为公式

———(A.2.4),(5)(4)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由国家标准化管理委员会提出

。

本文件由全国微机电技术标准化技术委员会与全国集成电路标准化技术委员会

(SAC/TC336)

共同归口

(SAC/TC599)。

本文件起草单位合肥华凌股份有限公司中机生产力促进中心有限公司宁波科联电子有限公司

:、、、

中北大学长虹美菱股份有限公司广州自平测控科技有限公司海信集团控股股份有限公司上海新微

、、、、

技术研发中心有限公司无锡小天鹅电器有限公司北京智芯微电子科技有限公司北京晨晶电子有限

、、、

公司广州天极电子科技股份有限公司无锡华润上华科技有限公司西北工业大学东南大学成都航

、、、、、

天凯特机电科技有限公司中国电力科学研究院有限公司北京大学苏州大学四川长虹虹微科技有限

、、、、

公司美的集团股份有限公司无锡吴越物芯科技有限公司

、、。

本文件主要起草人余燕李根梓史进东王俊强杨浩马卓标曹诗亮卢奕鹏张革方东明

:、、、、、、、、、、

张云辉张舒楠王科程宇心王春举卢敏仪夏长奉周再发闫晓剑熊贵林董接莲

、、、、、、、、、、。

Ⅲ

GB/T47767—2026/IEC62047-422022

:

微机电系统MEMS技术压电微悬

()

臂梁机电转换特性的测试方法

1范围

微悬臂梁是微传感器和微执行器的典型结构为了获得具有微器件结构的压电薄膜的实际和精确

,

的压电系数本文件描述了微悬臂梁上压电薄膜机电转换特性的测试方法本文件适用于通过

。。

工艺制造的微悬臂上的压电薄膜机电转换特性的测试适用于消费者工业或任何其他压电器

MEMS,、

件的应用

。

2规范性引用文件

本文件没有规范性引用文件

。

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

单压电层微悬臂梁unimorphmicrocantilever

由压电薄膜和非压电材料组成的微尺度悬臂梁非压电材料通常为薄硅层

,。

注将压电薄膜沉积在底电极上随后在压电薄膜上制备顶电极并在两电极之间施加输入电压铂常用作压电

:,,。

器件的顶电极和底电极其厚度宜比微悬臂的压电薄膜和非压电层的厚度薄在正压电测量中测得底

MEMS,。,

电极和感应顶电极之间的输出信号如所述

,5.4。

32

.

逆横向压电系数conversetransversepiezoelectriccoefficient

由电场或电压引起的应变或应力计算出的压电薄膜横向压电系数

。

33

.

正横向压电系数directtransversepiezoelectriccoefficient

由应变或应力产生的电荷或电压计算得出的压电薄膜横向压电系数

。

4MEMS压电薄膜试验台

41概述

.

横向压电性能的测量方法适用于单片微悬臂压电单层微悬臂梁试件如图所示

,MEMS1。

1