GB/T 26307-2025 银靶材

ICS7715099

CCSH.68.

中华人民共和国国家标准

GB/T26307—2025

代替GB/T26307—2010

银靶材

Silvertarget

2025-08-29发布2026-03-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T26307—2025

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替银靶与相比除结构调整和编辑性改动

GB/T26307—2010《》,GB/T26307—2010,

外主要技术变化如下

,:

增加了术语和定义见第章

a)(3);

增加了产品纯度的分类和化学成分的要求以及对应的试验方法见

b)Ag99.995,(4.1.1、5.1、

6.1);

增加了产品结构形式要求见

c)(4.1.2);

增加了产品标记要求见

d)(4.2);

更改了晶粒度要求由银靶的横向平均晶粒度应在改为产品的横向平均晶

e),“50μm~150μm”“

粒度应不大于见年版的

150μm”(5.2,20103.3);

增加了产品内部质量要求试验方法及检验结果判定的规定见

f)、(5.3、6.3、7.4.2);

增加了产品焊接质量要求试验方法及检验结果判定的规定见

g)、(5.5、6.5、7.4.2);

更改了产品外形尺寸及其允许偏差要求由整体产品尺寸修改为不含背板的产品尺寸要求见

h),(

年版的

5.6,20103.6);

更改了产品晶粒度分析方法删除了附录现场金相测定银靶横向平均晶粒度的检测方法

i),A“”

见年版的附录

(5.2,2010A);

增加了产品检验项目及取样要求见

j)(7.3);

增加了产品随行文件及订货单中相关内容见第章

k)(8.3、9)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由中国有色金属工业协会提出

。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会归口

(SAC/TC243)。

本文件起草单位有研亿金新材料有限公司金川集团股份有限公司云南省贵金属新材料控股集

:、、

团股份有限公司紫金矿业集团黄金冶炼有限公司有研亿金新材料山东有限公司有研资源环境技

、、()、

术研究院北京有限公司

()。

本文件主要起草人宋琦何金江万小勇杨晓艳闻明吴卫煌朱孜毅袁学韬张亚东尚再艳

:、、、、、、、、、、

王传军应宗波张晓娜徐国进辛柏朴刘丹

、、、、、。

本文件于年首次发布本次为第一次修订

2010,。

Ⅰ

GB/T26307—2025

银靶材

1范围

本文件规定了银靶材的分类和标记技术要求试验方法检验规则和标志包装运输贮存及随行

、、、、、、

文件和订货单

。

本文件适用于半导体器件用的各类银溅射靶材其他用途的银靶材参照使用

。。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,

件仅该日期对应的版本适用本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本

,;,()

文件

。

产品几何技术规范表面结构轮廓法表面粗糙度参数及其数值

GB/T1031(GPS)

银锭

GB/T4135

金属平均晶粒度测定方法

GB/T6394

金属板材超声板波探伤方法

GB/T8651

所有部分银化学分析方法

GB/T11067()

贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

GB/T15077

高纯银化学分析方法痕量杂质元素的测定辉光放电质谱法

GB/T36590

高纯银锭

GB/T39810

溅射靶材背板结合质量超声波检验方法

YS/T837-

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件

。

31

.

靶材target

溅射沉积技术中的阴极部分

。

注该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面沉积

:、。

32

.

靶坯targetblank

阴极上用作目标材料的部分

。

33

.

背板blackingplate

用来支撑或固定靶坯的部分

。

注靶材与背板通过钎焊的方式连接

:。

1