GB/T 26307-2010 银靶

ICS77.120.99

H68百目

中华人民共和国国彖标准

GB/T26307—2010

银靶

Silvertarget

2011-01-14发布2011-11-01实施

GB/T26307—2010

-J—

刖旨

本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。

本标准由北京有研亿金新材料股份有限公司负责起草。

本标准主要起草人：闫琳、杨华、李蕊、杨永刚、雷继锋、熊晓东、江轩。

GB/T26307—2010

银靶

1范围

本标准规定了银靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及质量证明书与订货单（或

合同）内容。

本标准适用于半导体器件用的各类银溅射靶材（以下简称银靶）。其他用途的靶材也可参照使用。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件,仅注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T4135银

GB/T6394金属平均晶粒度测定方法

GB/T11067银化学分析方法

GB/T15077贵金属及其合金材料几何尺寸测量方法

3要求

3.1产品分类

银靶的类型按化学成分为IC-Ag99.99一种。

银靶的形状和尺寸主要由设备基台确定，外形主要为圆形、矩形和异型。

3.2化学成分

银靶IC-Ag99.99的化学成分应符合GB/T4135的规定。需方对某种特定杂质元素含量有要求

的，由供需双方协商确认。

3.3晶粒度

银靶的横向平均晶粒度应在50卩m〜150

3.4外观质量

银靶表面应无凹坑、划伤、裂纹、凸起等缺陷；无润滑痕迹、颗粒附加物和其他沾污；应清洁光滑，无

指痕，无油污和锈蚀。

3.5表面粗糙度

银靶表面粗糙度Ra值应不大于1.6卩hi。

3.6几何尺寸

3.6.1圆形银靶的直径0主要有：25mm、50mm、100mm、150mm、200mm、300mm,厚度通常为

3mm~35mmo