T/CASME 1853-2024 半导体晶圆加工用激光切割机

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标准号

T/CASME 1853-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

J 机械

国际标准分类号（ICS）

25.060.99 其他机床装置

发布日期

2024-12-25

实施日期

2024-12-31

发布单位/组织

归口单位

中国中小商业企业协会

适用范围

范围:本文件适用于半导体晶圆加工用激光切割机的设计和制造; 主要技术内容:本文件规定了半导体晶圆加工用激光切割机的设备构成、型号命名与主要参数、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存

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起草单位：: 常州心匠智能装备有限公司、安徽百超激光科技有限公司、河海大学、蒂业技凯（常州）精工有限公司、常州科泽机电有限公司、常州工学院、苏州北科纳米科技有限公司、江苏省航空航天新材料产业计量中心、中国机械总院集团江苏分院有限公司、江苏大学、江苏工程职业技术学院、南通鑫特尔智造科技有限公司、库恩智能设备（常州）有限公司、中国汽车技术研究中心有限公司中国汽车战略与政策研究中心、蚌埠学院

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