T/CAMS 179-2023 硅片切片机用高速高精主轴
T/CAMS 179-2023 Silicon slice cutter with high speed and high precision main shaft
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式:PDF
基本信息
标准号
T/CAMS 179-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-10-18
实施日期
2024-01-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国机械工业标准化技术协会
适用范围
范围:本文件适用于线速度30m/s以上的硅片切片机用高速高精主轴的制造、检验和验收;
主要技术内容:本文件规定了硅片切片机用高速高精主轴的术语与定义、分类、外形、安装及标识、技术要求、试验方法、几何精度检验、检验规则、标志、包装与贮存
发布历史
-
2023年10月
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研制信息
- 起草单位:
- 无锡阳光精机股份有限公司、通用技术集团机床工程研究院有限公司、国家机床质量监督检验中心、浙江晶盛机电股份有限公司
- 起草人:
- 杨锦、吴宗彦、周志、张维、赵钦志、李书林、马立江
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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