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T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求

T/CESA 1081-2020 Semiconductor integrated circuit manufacturing industry, wafers, and green factory evaluation requirements

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CESA 1081-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55/59 微电路
国际标准分类号（ICS）
13.020.01 环境和环境保护综合
发布日期
2020-06-20
实施日期
2020-06-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子工业标准化技术协会
适用范围
主要技术内容:本标准规定了半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用

发布历史

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研制信息

起草单位：
中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司
起草人：
李胡升、马传辉、洪洋、杨檬、杨宇涛、阳平、宋英华、闻洪春、赵立华、刘果果、黄明燕、赵丽华
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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