T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价要求

团体标准中文(简体) 现行页数：0页 | 格式：PDF

标准号

T/CESA 1081-2020

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

L55/59 微电路

国际标准分类号（ICS）

13.020.01 环境和环境保护综合

发布日期

2020-06-20

实施日期

2020-06-20

发布单位/组织

归口单位

中国电子工业标准化技术协会

适用范围

主要技术内容:本标准规定了半导体集成电路制造业晶圆绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序等。本标准适用于对具有晶圆大小为8英寸或12英寸的半导体集成电路晶圆产品实际生产过程的工厂进行评价，其他类型集成电路产品生产制造工厂也可参考使用

当前资源暂不支持预览

起草单位：: 中国电子技术标准化研究院、北京赛西认证有限责任公司、中芯北方集成电路制造（北京）有限公司、中国电子信息产业发展研究院、中芯国际集成电路制造(天津)有限公司、施耐德电气（中国）有限公司上海分公司

暂无内容

更多>

T/CESA 1081-2020 半导体集成电路制造业 晶圆 绿色工厂评价要求