GB/T 26807-2011 硅压阻式动态压力传感器

ICS17．100

N11

a雪

中华人民共和国国家标准

11

26807--20

GB／T

硅压阻式动态压力传感器

Siliconsensors

piezoresistivepressure

dynamic

201

1-07-29发布

丰瞀鹃鬻瓣訾襻瞥星发布中国国家标准化管理委员会促1”

11

26807--20

GB／T

目次

前言…·…………

1范围……··…·Ⅱl

2规范性引用文件………······1

3分类与命名…1

3．1分类………………·……··1

3．2型号命名与图形符号……1

4基本参数·…··2

4．1测量范围……………······2

4．2被测压力介质及兼容性…2

4．3激励…………··…·………2

4．4标称桥阻…·…·…………·2

4．5工作介质温度范围·……··2

4．6工作环境温度范围………2

4．7补偿温度范围…………···2

4．8贮存温度范围……………2

5要求…………2

5．1总则………2

5．2外观·……··3

5．3外形及安装尺寸·………··3

5．4输入阻抗……·…………--3

5．5输出阻抗……………·…·-3

5．6负载阻抗······……………3

5．7绝缘电阻…3

5．8绝缘强度………·…··……3

5．9静态性能…………·……··3

5．10过载…··…-4

5．11零点漂移…···……………4

5．12热零点漂移·……………一4

5．13热满量程输出漂移………4

5．14零点长期稳定性(必要时)4

5．15动态性能………………···4

5．16环境影响特性………·…··5

5．17疲劳寿命(必要时)………5

6试验方法……5

6．1环境条件…5

6．2校准条件·………………··5

6．3外观··……·………………6

6．4外形及安装尺寸…………6

11

26807--20

(；BIT

6．5输入阻抗0

6．6输出阻抗0

6．7负载阻抗6

6．8绝缘电阻0

6．9绝缘强度0

6．10静态性能

6．11过载……

6．12零点漂移

6．13热零点漂移·……

6．14热满量程输出漂移……………·

6．15零点长期稳定性…··………··…

6．16动态性能…····…0，，，，，0

6．17环境影响试验…………·······…0

6．18疲劳寿命………………······…·0

7检验规则·····…····…··…………··9

7．1检验分类………·0

7．2出厂检验……·…···……………0

7．3型式检验……···…m

8标志、包装、运输及贮存……···…--u

8．1产品标志……………···…·……·n

8．2包装……··…·…······…………一

8．3运输········…········……………-

8．4贮存·······……······……………-

附录A(规范性附录)传感器性能指标的计算方法

A．1实际工作特性··……·······……

A．2参比工作直线……·…………·u地地"¨n

A．3满量程输出值(yts)………·…·H

A．4非线性(矗)……………·……·

A．5迟滞(晶)……······………··…

A．6重复性(靠)……···…………一

A．7准确度(0…···…··……………

A．8零点漂移(d，)……····……····

····……·

A．9零点长期稳定性(rz)

A．10热零点漂移(a)……………····……………·

A．11热满量程输出漂移(卢)………………···…．．

A．12振动对传感器零点影响(Zo)…………·……·

A．13外磁场对传感器输出的影响(C。)…………一M坫坫坫¨¨”"""

Ⅱ

26807--2011

GB／T

刖罱

本标准附录A为规范性附录。

本标准由中国机械工业联合会提出并归口。

本标准起草单位：昆山双桥传感器测控技术有限公司、沈阳仪表科学研究院、传感器国家工程研究

中心、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心。

本标准主要起草人：尤彩红、刘沁、王冰、王文襄、刘渡、徐秋玲、徐长伍、唐慧、李延夫。

Ⅲ

26807--2011

GB／T

硅压阻式动态压力传感器

1范围

本标准规定了硅压阻式动态压力传感器的分类与命名、基本参数、要求、检验方法、检验规则及标

志、包装、运输和贮存。

本标准适用于硅压阻式动态压力传感器(以下简称传感器)的生产、使用、验收等。

2规范性引用文件

下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注El期的引用文件，其随后所有

的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究

是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。

2423．12008

GB／T60068—2—

电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验A：低温(IEC

1：2007，IDT)

2423．260068—2—

GB／T2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验B：高温(IEC

2：2007，IDT)

2423．3—2006

GB／T电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Cab：恒定湿热试验

(IEC60068-2—78：2001，IDT)

GB／T2423．5一1995电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ea和导则：冲击

IEC60068—2—27：1987)

(idt

GB／T

2423．10一2008电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Fc：振动(正弦)

(IEC60068—2—6：1995，IDT)

2423．15—2008

GB／T电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验Ga和导则：稳态加速

度(IEC60068—2—7：1986，IDT)

2423．222002

GB／T电工电子产品环境试验第2部分：试验方法试验N：温度变化

(IEC60068—2—14：1984IDT)

GB／T2829--2002周期检查计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)

7666--2005

GB／T传感器命名法及代号

GB／T14479传感器图用图形符号

GB／T

15478压力传感器性能试验方法

JJG624--2005动态压力传感器

3分类与命名

3．1分类

按感受压力类型分为：表压、绝压、差压。

3．2型号命名与图形符号

传感器型号命名，按GB／T7666--2006的规定命名。

传感器的图形符号，按GB／T14479的规定。

】

26807--2011

GB／T

4基本参数

4．1测量范围

传感器测量范围的上限值推荐从下列数值中选取：

10“、±8．0×10“。其中n一0、1、2、3……。也可以按用户特定要求设定。下限值若无特殊要求则为零。

测量范围的单位为帕(Pa)、千帕(kPa)、兆帕(MPa)、吉帕(GPa)。

4．2被测压力介质及兼容性

介质类型：气体、液体。

介质性质：导电性、腐蚀性、放射性。

必要时给出与被测介质接触的传感器结构材料的名称、牌号和兼容性。

4．3激励

4．3．1恒压激励

传感器采用恒压激励时，直流激励电压的数值从下列数值中选取：3V、5V、6V、9V、10V、12V、

15V、18V、24V、36

v。激励可采用单电源，也可采用双电源方式。

传感器用于高频动态压力测量时，激励电源宜采用线性电源。

4．3．2恒流激励

传感器采用恒流激励时，直流激励电流的数值从下列数值中选取：0．5mA、0．8mA、1mA、

1．2mA、1．5mA、5

mA、2mA、3mA、10mA。

4．4标称桥阻

n、1k0、2kQ、3kQ、4kn、5kQ、8kQ、

传感器桥阻的标称阻值从下列数值中选取：350n、600

10

kn，标称桥阻的允差用其阻值的百分数表示，宜采用下列数值：士10％、+25％、=1：40％。

4．5工作介质温度范围

一25℃、一20℃、一10℃、0℃。

150℃、180℃、200℃、250℃、300℃、350℃、400℃、450℃。

4．6工作环境温度范围

传感器工作环境温度的下限值从下列数值中选取：一55℃、一25℃、一10℃、0℃。

传感器工作环境温度的上限值从下列数值中选取：50℃、60℃、70℃、85℃、100℃、125℃。

4．7补偿温度范围

200℃、250℃。

4．8贮存温度范围

贮存温度范围的下限温度通常等于或低于下限工作环境温度10℃，贮存温度范围的上限温度通常

等于或高于上限工作环境温度10℃～20℃。

5要求

5．1总则

传感器应符合本标准与详细规范的规定。

2

26807--2011

GB／T

5．2外观