T/CAMS 173-2023 硅基压阻式压力传感器老炼试验方法
T/CAMS 173-2023 The method for qualifying silicon-based pressure sensors using piezoresistive pressure sensing technology
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CAMS 173-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2023-09-25
实施日期
2023-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国机械工业标准化技术协会
适用范围
范围:本文件适用于硅基压阻式压力传感器老炼试验的开展，传感器类型主要包括绝压、表压及差压等;
主要技术内容:本文件规定了硅基压阻式压力传感器老炼试验方法的试验要求、试验条件、试验项目及步骤、故障处理及数据处理及结果分析等内容
发布历史
-
2023年09月
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研制信息
- 起草单位：
- 机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、厦门大学、中电科技集团重庆声光电有限公司、沈阳仪表科学研究院有限公司、长沙飞克电子科技有限公司
- 起草人：
- 刘帅、杜晓辉、朱敏杰、刘丹、王凌云、张祖伟、孙克、陈才
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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