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T/CAMS 173-2023 硅基压阻式压力传感器老炼试验方法

T/CAMS 173-2023 The method for qualifying silicon-based pressure sensors using piezoresistive pressure sensing technology

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/CAMS 173-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
N11 温度与压力仪表
国际标准分类号（ICS）
17.100 力、重力和压力的测量
发布日期
2023-09-25
实施日期
2023-11-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国机械工业标准化技术协会
适用范围
范围:本文件适用于硅基压阻式压力传感器老炼试验的开展，传感器类型主要包括绝压、表压及差压等; 主要技术内容:本文件规定了硅基压阻式压力传感器老炼试验方法的试验要求、试验条件、试验项目及步骤、故障处理及数据处理及结果分析等内容

发布历史

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研制信息

起草单位：
机械工业仪器仪表综合技术经济研究所、厦门大学、中电科技集团重庆声光电有限公司、沈阳仪表科学研究院有限公司、长沙飞克电子科技有限公司
起草人：
刘帅、杜晓辉、朱敏杰、刘丹、王凌云、张祖伟、孙克、陈才
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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