DB35/T 1248-2012 电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定 气相色谱法

ICS71.040.40

G86

DB35

福建省地方标准

DB35/T1248—2012

电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定

气相色谱法

DeterminationofImpuritiesinElectronicIndustry-GerminebyGasChromatography

2012-05-04发布2012-08-05实施

福建省质量技术监督局发布

DB35/T1248—2012

前言

本标准按照GB/T1.1–2009《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》、GB/T20001.4–2001

《标准编写规则第4部分：化学分析方法》的规定进行编写和表述。

本标准由福建省化学工业气体标准化技术委员会提出并归口。

本标准起草单位：国家化学工业气体产品质量监督检验中心（福建）。

本标准主要起草人：林宇巍、陈熔、陈华、邹震、林永荣、张凤利、陈小娟、叶树海、郑江琳。

I

DB35/T1248—2012

电子工业用锗烷气体中杂质含量的测定气相色谱法1)

1范围

本标准规定了用气相色谱法测定电子工业用锗烷气体中杂质含量的方法。

本标准适用于电子工业用锗烷气体中氢、氧（氩）、氮、甲烷、一氧化碳、二氧化碳含量的测定。

各杂质组分的检测限：氢：0.02μmol/mol、氧（氩）：0.01μmol/mol、氮：0.01μmol/mol、甲烷：

0.005μmol/mol、一氧化碳：0.02μmol/mol、二氧化碳：0.005μmol/mol；各杂质组分检测线性范

围：氢、氧（氩）、氮≤1000μmol/mol，甲烷、一氧化碳、二氧化碳≤2000μmol/mol。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文

件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T4844.3-1995高纯氦

GB/T6681气体化工产品采样通则

GB/T3723-1999工业用化学产品采样安全通则

3原理

样品先通过预分离柱，实现主组分与杂质组分分离后，主组分经载气反吹出预分离柱，杂质组分通

过色谱柱分离后进入检测器检测。用保留时间定性，外标法定量。

4试剂与材料

4.1载气

高纯氦：纯度符合GB/T4844.3-1995一等品要求。

4.2驱动气

氮气，纯度≥99.99%。

4.3标准气

采用有证标准物质，平衡气为氦气，标准气中各杂质的含量应与待测样品气中测定组分含量相近。

5仪器与设备

1)警告—使用本标准的人员应有正规有毒、有害、易燃、易爆气体分析实验室工作