YS/T 34.1-2011 高纯砷化学分析方法 电感耦合等离子体质谱法(ICP-MS)测定 高纯砷中杂质含量
YS/T 34.1-2011 Method for chemical analysis of the high-purity arsenic—Inductive coupling plasma mass spectrum (ICP-MS) for determinating the concentration of elements in the high-purity arsenic
基本信息
本部分适用于99.999%~99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定。测定范围为1×10-7%~1 000×10-7%。
发布历史
-
1992年03月
-
2011年12月
研制信息
- 起草单位:
- 峨嵋半导体材料厂、峨眉山嘉美高纯材料有限公司
- 起草人:
- 程高明、邹同贵、文英、唐云博、廖敏
- 出版信息:
- 页数:7页 | 字数:11 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS77.040.30
H17
中华人民共和国有色金属行业标准
/—
YST34.12011
代替/—
YST34.1~34.21992
高纯砷化学分析方法电感耦合等离子
体质谱法()测定
ICP-MS
ㅤㅤㅤㅤ
高纯砷中杂质含量
—
Methodforchemicalanalsisofthehih-uritarsenic
ygpy
()
InductivecoulinlasmamasssectrumICP-MSfordeterminatinthe
pgppg
concentrationofelementsinthehih-uritarsenic
gpy
2011-12-20发布2012-07-01实施
中华人民共和国工业和信息化部发布
/—
YST34.12011
高纯砷化学分析方法电感耦合等离子
体质谱法()测定
ICP-MS
高纯砷中杂质含量
1范围
/,
YST34的本部分规定了高纯砷中金属杂质含量的测定方法采用电感耦合等离子质谱法测定砷
、、、、、、、、、、、、、。
中镁铬镍铜锌银锑铅铋钠钾铝钙铁等个杂质含量
14
-7
。
本部分适用于99.999%~99.99999%高纯砷中金属杂质含量的测定测定范围为1×10%~
-7
1000×10%。
2方法提要
,,,
在的条件下试料与氯化氢氯混合气体反应生成三氯化砷及杂质元素氯化物低
120℃~130℃-
,。、、,
沸点的三氯化砷挥发后随气体流出用硝酸溶解留下来的杂质氯化物推荐使用铍铟铀作内标常规
、、、、、、、、,、、、、。
等离子体质谱法测定镁铬镍铜锌银锑铅铋用冷等离子体质谱法测定钠钾铝钙铁
ㅤㅤㅤㅤ
3试剂
3.1试剂
():,。
盐酸或亚沸蒸馏后使用
3.1.1ρ1.19RM-BBV-Ⅲ
():,。
硝酸或亚沸蒸馏后使用
3.1.2ρ1.42RM-BBV-Ⅲ
():。
3.1.3硫酸ρ1.84优级纯
():。
3.1.4过氧化氢30%分析纯
:·。
3.1.5去离子水电阻率≥18MΩcm
氩。
3.1.6≥99.99%
3.2标准溶液
3.2.1元素贮备标准溶液
。/,/。
所用标准贮备液为国家标准铀的浓度为500mL其余元素均为1000mL
μgμg
3.2.2内标溶液
(、、):、
1号内标溶液每毫升含500ng铍500ng铟500ng铀移取0.5mL铍标准溶液0.5mL铟标
、,,,,。
准溶液1.0mL铀标准溶液置于1L聚丙烯容量瓶中加入20mL硝酸定容混匀
(、、):,
2
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