T/ZGM 006-2024 半导体行业超纯水工艺制程混床用离子交换树脂产品认证技术要求
T/ZGM 006-2024 The technical requirements for ion exchange resin products certification in the process of producing ultra-pure water in the semiconductor industry using mixed bed
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/ZGM 006-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-05-24
实施日期
2024-05-31
发布单位/组织
-
归口单位
中国膜工业协会
适用范围
范围:本文件适用于半导体行业超纯水制备用的制程混床用离子交换树脂;
主要技术内容:本文件规定了半导体行业超纯水制备用的制程混床用离子交换树脂产品认证的技术要求、试验方法
发布历史
-
2021年10月
-
2022年08月
-
2024年05月
-
2025年07月
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研制信息
- 起草单位：
- 宁波争光树脂有限公司、江苏苏青水处理工程集团有限公司、西安蓝晓科技新材料股份有限公司、河北利江生物科技有限公司、山东德川化工科技有限责任公司、浙江普尔树脂有限公司、南京大学、蚌埠市天星树脂有限责任公司、中国船舶集团有限公司第七一九研究所、北方集成电路技术创新中心（北京）有限公司
- 起草人：
- 胡锦强、钱平、张力、张志国、王莎莎、帅新远、双陈冬、杨奇、杨羽庭、张优慰、王宸
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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