DB15/T 1241-2017 硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定 气相色谱法

ICS77.040

H17

备案号：55654-2017DB15

内蒙古自治区地方标准

DB15/T1241—2017

硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定

气相色谱法

Silanes-Determinationofsilanecontentintailgasfrom

polycrystallinesilicon-Gaschromatographicmethod

2017-09-10发布2017-12-10实施

内蒙古自治区质量技术监督局发布

DB15/T1241—2017

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由内蒙古神舟硅业有限责任公司提出。

本标准由内蒙古自治区质量技术监督局归口。

本标准起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司。

本标准主要起草人员：刘淑萍、宗凤云、李辉、赵英、曹忠、陈大勇、董燕军、赫兰英、宋佳宁、

杨媛丽、张文慧。

I

DB15/T1241—2017

硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定气相色谱法

警告——使用本标准的人员应有正规实验室工作的实践经验。本标准并未指出所有可能的安全问

题。使用者有责任采取适当的安全和健康措施，并保证符合国家有关法规规定的条件。

1范围

本标准规定了硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量检验的试剂、仪器、试样、分析步骤、分析结果计

算、精密度、试验报告等要求。

本标准适用于硅烷法生产多晶硅尾气中硅烷含量的测定。测定范围为0.050%～10.00%。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T3723工业用化学