DB15/T 1239-2017 多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定 电感耦合等离子体发射光谱法

ICS77.040.30

H17

备案号：55652-2017DB15

内蒙古自治区地方标准

DB15/T1239—2017

多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量

的测定电感耦合等离子体发射光谱法

Testmethodsforelementscontentofactivatedcarbonforexhaustgaspurification

inpolysiliconproduction—Inductivelycoupledplasmaatomicemission

spectrometricmethod

2017-09-10发布2017-12-10实施

内蒙古自治区质量技术监督局发布

DB15/T1239—2017

前言

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。

本标准由内蒙古神舟硅业有限责任公司提出。

本标准由内蒙古自治区质量技术监督局归口。

本标准起草单位：内蒙古神舟硅业有限责任公司、国电内蒙古晶阳能源有限公司、内蒙古盾安光伏

科技有限公司。

本标准主要起草人员：刘淑萍、宗凤云、李辉、赵英、曹忠、陈大勇、董燕军、丁培云、马凤娟、

杨媛丽、李永冬、姚利忠、张文慧。

I

DB15/T1239—2017

多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量的测定电感耦合等离子

体发射光谱法

1范围

本标准规定了多晶硅生产净化氢气用活性炭中杂质含量检测规则的方法提要、试剂、仪器、试样、

分析步骤、分析结果计算、精密度、试验报告等要求。

本标准适用于多晶硅氢气净化用活性炭中硼、磷、铝、铬、铁、镍、铜、锌含量的测定。

2规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。

凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T6682分析试验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

3测定范围

测定范围应符合表1的规定。

表1测定范围

元素质量分数/%元素质量分数/%

硼0.00030～0.10铁