GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法
GB/T 39163-2020 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
国家标准
中文简体
现行
页数：12页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2020-11-19
实施日期
2021-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注： 靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注： 靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。
发布历史
-
2020年11月
研制信息
- 起草单位：
- 有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
- 起草人：
- 丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
- 出版信息：
- 页数：12页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS19.060
H22
中华人民共和国国家标准
/—
GBT391632020
靶材与背板结合强度测试方法
Testmethodsofthebondinstrenthfortaret-backinlateassemblies
ggggp
2020-11-19发布2021-10-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT391632020
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由中国有色金属工业协会提出。
(/)。
本标准由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口
:、、
本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有
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