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GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法

GB/T 39163-2020 Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies

国家标准 中文简体 现行 页数：12页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
GB/T 39163-2020
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
H22 金属力学性能试验方法
国际标准分类号（ICS）
19.060 机械试验
发布日期
2020-11-19
实施日期
2021-10-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
适用范围
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。
本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
注： 靶材与背板结合方式包括钎焊（传统焊料、导电银胶、纳米箔焊接等）、扩散焊、电子束或激光焊、爆炸焊、摩擦焊、机械复合、冷喷涂、热喷涂等。

发布历史

文前页预览

GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法-第1页
GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法-第2页
GB/T 39163-2020 靶材与背板结合强度测试方法-第3页

研制信息

起草单位：
有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
起草人：
丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
出版信息：
页数：12页 | 字数：22 千字 | 开本： 大16开

内容描述

ICS19.060

H22

中华人民共和国国家标准

/—

GBT391632020

靶材与背板结合强度测试方法

Testmethodsofthebondinstrenthfortaret-backinlateassemblies

ggggp

2020-11-19发布2021-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT391632020

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

本标准由中国有色金属工业协会提出。

(/)。

本标准由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口

:、、

本标准起草单位有研亿金新材料有限公司有

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