T/CASME 1846-2024 半导体设备零配件清洗技术规范
T/CASME 1846-2024 Semiconductor equipment component cleaning technical specification
团体标准
中文(简体)
现行
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|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1846-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-12-25
实施日期
2024-12-31
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于没有经过喷漆或电镀的半导体设备零配件的清洗;
主要技术内容:本文件规定了半导体设备零配件清洗的一般要求、表面处理、化学清洗、外观面检验、标识、包装和贮存
发布历史
-
2024年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 苏州飞思达精密机械有限公司、苏州艾布纳精密机械有限公司、苏州大魏模具科技有限公司
- 起草人：
- 张忠华、郝振兴、魏宏准
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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