T/CASME 1846-2024 半导体设备零配件清洗技术规范
T/CASME 1846-2024 Semiconductor equipment component cleaning technical specification
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CASME 1846-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-12-25
实施日期
2024-12-31
发布单位/组织
-
归口单位
中国中小商业企业协会
适用范围
范围:本文件适用于没有经过喷漆或电镀的半导体设备零配件的清洗;
主要技术内容:本文件规定了半导体设备零配件清洗的一般要求、表面处理、化学清洗、外观面检验、标识、包装和贮存
发布历史
-
2024年12月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 苏州飞思达精密机械有限公司、苏州艾布纳精密机械有限公司、苏州大魏模具科技有限公司
- 起草人：
- 张忠华、郝振兴、魏宏准
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/SHHJ 001-2017 儿童水性内墙涂料 2017-04-01
- T/GSTX 001-2021 公路隧道防护涂装技术规范 2021-06-01
- T/ZZB 0395-2018 水性复合岩片仿花岗岩涂料 2018-07-20
- T/CAB 0054-2019 绿色设计产品评价技术规范 热固性粉末涂料 2019-12-20
- T/ZZB 1843-2020 亮光丙烯画颜料 2020-11-16
- T/SHDSGY 212-2023 特种合成树脂表面处理工艺 2023-07-28
- T/ZZB 0606-2018 凹印耐蒸煮塑料薄膜复合油墨 2018-10-12
- T/GDTL 004-2018 绿色产品评价 耐候性聚酯粉末 涂料用聚酯树脂 2018-12-31
- T/CSTM 00640-2022 烤炉用耐高温粉末涂料 2022-08-29
- T/CADBM 33-2021 水性丙烯酸防腐涂料 2021-02-08