GB/T 31472-2015 X光电子能谱中荷电控制和荷电基准技术标准指南
GB/T 31472-2015 Standard guide to charge control and charge referencing techniques in X-ray photoelectron spectroscopy
国家标准
中文简体
现行
页数：14页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2015-05-15
实施日期
2016-01-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准规定了X射线光电子能谱（XPS）的荷电控制和荷电基准技术。本标准适用于XPS荷电控制和荷电定位技术，不适用于其他电子激发系统。
发布历史
-
2015年05月
研制信息
- 起草单位：
- 信息产业专用材料质量监督检验中心、中国电子技术标准化研究院、苏州晶瑞化学有限公司、天津中环领先材料技术有限公司
- 起草人：
- 李雨辰、何秀坤、刘筠、刘兵、李翔
- 出版信息：
- 页数：14页 | 字数：26 千字 | 开本： 大16开
内容描述
ICS17.220.20
N26
中华人民共和国国家标准
/—
GBT314722015
X光电子能谱中荷电控制和
荷电基准技术标准指南
Standarduidetocharecontrolandcharereferencin
gggg
techniuesinX-rahotoelectronsectrosco
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2015-05-15发布2016-01-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT314722015
前言
本标准按照/—给出的规则起草。
GBT1.12009
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(/)提出并归口。
SACTC203
:、、
本标准起草单位信息产业专用材料质量监督检验中心中国电子技术标准化研究院苏州晶瑞化
、。
学有限公司天津中环领先材料技术有限公司
:、、、、。
本标准主要起草人李雨辰何秀坤刘筠刘兵李翔
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