T/CEPEA 0102-2023 化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘
T/CEPEA 0102-2023 Compound semiconductor device etching process electric-static chuck
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEPEA 0102-2023
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2024-03-01
实施日期
2024-03-15
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子专用设备工业协会
适用范围
主要技术内容:静电卡盘是在具较高相对介电常数的电介质材料内部设置具有特定功能结构的电极组图案，通过混凝、烧结、键合等一体化工艺制造而成。本文件界定了化合物半导体器件刻蚀工艺静电卡盘的术语和定义，规定了其结构和分类、工作条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存
发布历史
-
2024年03月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 无锡邑文微电子科技股份有限公司、广东海拓创新技术有限公司、浏阳泰科天润半导体科技有限公司
- 起草人：
- 孙文彬、高阔、刘斌、施广彦
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- GB/T 6067.5-2014 起重机械安全规程 第5部分：桥式和门式起重机 2014-09-03
- GB/T 8492-2014 一般用途耐热钢和合金铸件 2014-09-03
- GB/T 7600-2014 运行中变压器油和汽轮机油水分含量测定法(库仑法) 2014-09-03
- GB/T 5613-2014 铸钢牌号表示方法 2014-09-03
- GB/T 5395-2014 林业及园林机械 以内燃机为动力的便携式手持操作机械振动测定规范 手把振动 2014-09-03
- GB/T 5907.1-2014 消防词汇 第1部分：通用术语 2014-09-03
- GB/T 7568.8-2014 纺织品 色牢度试验 标准贴衬织物 第8部分：二醋酯纤维 2014-09-03
- GB/T 7698-2014 工业用氢氧化钠 碳酸盐含量的测定 滴定法 2014-09-03
- GB/T 6614-2014 钛及钛合金铸件 2014-09-03
- GB/T 5455-2014 纺织品 燃烧性能 垂直方向损毁长度、阴燃和续燃时间的测定 2014-09-03