T/CEPEA 0102-2024 真空晶圆搬运机械手技术规范
T/CEPEA 0102-2024 Technical specification for vacuum wafer handling manipulator
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/CEPEA 0102-2024
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-12-19
实施日期
2026-01-01
发布单位/组织
-
归口单位
中国电子专用设备工业协会
适用范围
本文件规定了真空晶圆搬运机器人的技术要求、检验规则、检验方法及典型场景的参考性能指标。适用于在真空环境下搬运100 mm～300 mm晶圆的搬运机器人。内容包括术语定义、结构用途分类、技术要求（外观、功能、性能、安全、环境、电磁兼容、可靠性）、检验规则与方法、铭牌与包装、随行文件及典型场景性能指标
发布历史
-
2024年03月
-
2025年12月
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研制信息
- 起草单位：
- 泓浒（苏州）半导体科技有限公司、电子科技大学、北京中电科电子装备有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司、甬矽电子（宁波）股份有限公司、珠海恒格微电子装备有限公司
- 起草人：
- 林坚、王彭、吴军、郭东、黎微明、徐玉鹏、李志强、衣忠波、钟磊、苏云姗
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
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