T/CEPEA 0102-2024 真空晶圆搬运机械手技术规范

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标准号

T/CEPEA 0102-2024

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

C35 矫形外科、骨科器械

国际标准分类号（ICS）

25.040.01 工业自动化系统综合

发布日期

2025-12-19

实施日期

2026-01-01

发布单位/组织

归口单位

中国电子专用设备工业协会

适用范围

本文件规定了真空晶圆搬运机器人的技术要求、检验规则、检验方法及典型场景的参考性能指标。适用于在真空环境下搬运100 mm～300 mm晶圆的搬运机器人。内容包括术语定义、结构用途分类、技术要求（外观、功能、性能、安全、环境、电磁兼容、可靠性）、检验规则与方法、铭牌与包装、随行文件及典型场景性能指标

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起草单位：: 泓浒（苏州）半导体科技有限公司、电子科技大学、北京中电科电子装备有限公司、江苏微导纳米科技股份有限公司、甬矽电子（宁波）股份有限公司、珠海恒格微电子装备有限公司

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