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T/QDAS 094-2022 二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方

T/QDAS 094-2022 The mixed acid formulation for cleaning GPP trench diodes

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/QDAS 094-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
31.080.01 半导体器分立件综合
发布日期
2022-07-22
实施日期
2022-07-22
发布单位/组织
-
归口单位
青岛市标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。本文件适用于采用二极管（包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等）湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制

发布历史

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研制信息

起草单位：
青岛金汇源电子有限公司、济南兰星电子有限公司、济南潼鑫电子科技有限公司
起草人：
李德鹏、张光展、程文娟、徐海涛、李中亮
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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