T/QDAS 094-2022 二极管GPP沟槽清洗用混合酸配方
T/QDAS 094-2022 The mixed acid formulation for cleaning GPP trench diodes
团体标准
中文(简体)
现行
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格式:PDF
基本信息
标准号
T/QDAS 094-2022
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2022-07-22
实施日期
2022-07-22
发布单位/组织
-
归口单位
青岛市标准化协会
适用范围
主要技术内容:本文件规定了二极管GPP沟槽清洗用混合酸的成分、纯度要求、浓度要求、配制比例、混合酸配制和使用要求等。本文件适用于采用二极管(包括整流二极管、快恢复功率二极管、可控硅、瞬态二极管、半导体放电管等)湿法腐蚀工艺清洗GPP沟槽的混合酸的配制
发布历史
-
2022年07月
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研制信息
- 起草单位:
- 青岛金汇源电子有限公司、济南兰星电子有限公司、济南潼鑫电子科技有限公司
- 起草人:
- 李德鹏、张光展、程文娟、徐海涛、李中亮
- 出版信息:
- 页数:- | 字数:- | 开本: -
内容描述
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