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T/NLIA 002-2021 汽车MEMS压力传感器灌封工艺仿真规范

T/NLIA 002-2021 Simulation specifications for encapsulation process of automotive MEMS pressure sensors

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/NLIA 002-2021
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
L55/59 微电路
国际标准分类号（ICS）
31.260 光电子学、激光设备
发布日期
2021-04-26
实施日期
2021-06-01
发布单位/组织
-
归口单位
武汉·中国光谷激光加工产业技术创新战略联盟
适用范围
主要技术内容:本文件规定了汽车 MEMS 压力传感器灌封工艺的仿真信息，包含了汽车 MEMS 压力传感器灌封工 艺仿真的基本流程：仿真模型构建、仿真运行分析、结果评价与工艺优化等。 本文件用于指导汽车 MEMS 压力传感器产品的生产、供应和使用，以促进传感器工艺仿真模型的 使用和灌封工艺的改良。本文件适用的汽车 MEMS 压力传感器产品包括： 汽车胎压传感器； 机油压力传感器； 燃油压力传感器； 燃油蒸汽压力传感器； 制动真空度传感器； 汽车尾排气压力传感器等

发布历史

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研制信息

起草单位：
武汉大学、武汉飞恩微电子有限公司、上达电子（深圳）有限公司、武汉华工激光工程有限责任公司、华中科技大学、中国地质大学（武汉）、武汉华工赛百数据系统有限公司、深圳优艾智合机器人科技有限公司、深圳市诚亿自动化科技有限公司、深圳技术大学、武汉科技大学
起草人：
李辉、张云帆、刘胜、申胜男、曹万、孙彬、吴巍、李新宇、文龙、姜静、许瑨、冷斌、吴丹、邓明星
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

暂无内容

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