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T/ICMTIA 4.2-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分：固体甲基丙烯酸酯类

T/ICMTIA 4.2-2020 Fluorinated Ar photoresist monomer for integrated circuits Part 2: Solid methyl acrylate type

团体标准 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA 4.2-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
-
国际标准分类号（ICS）
-
发布日期
-
实施日期
-
发布单位/组织
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
归口单位
-
适用范围
本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第2部分 固体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求。 本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体。

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研制信息

起草单位：
-
起草人：
-
出版信息：
页数：- | 字数：27 千字 | 开本： -

内容描述

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