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T/ICMTIA 4.1-2020 集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分：液体甲基丙烯酸酯类

T/ICMTIA 4.1-2020 The monomer for fluorinated argon resist used in integrated circuits, Part 1: Liquid methacrylate derivatives

团体标准 中文(简体) 现行 页数：0页 | 格式：PDF

基本信息

标准号
T/ICMTIA 4.1-2020
标准类型
团体标准
标准状态
现行
中国标准分类号（CCS）
G30/39 合成材料
国际标准分类号（ICS）
29.045 半导体材料
发布日期
2020-12-31
实施日期
2021-03-01
发布单位/组织
-
归口单位
中关村集成电路材料产业技术创新联盟
适用范围
范围:本文件适用于由有机原料、溶剂、适宜阻聚剂等组分合成经精制后可适用于氟化氩树脂制备用的单体; 主要技术内容:本文件规定了集成电路用氟化氩光刻胶单体 第1部分 液体甲基丙烯酸酯类的术语和定义、产品类型和结构特点、技术要求、分析检测方法、工艺要求、包装、贮存和运输等要求

发布历史

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研制信息

起草单位：
徐州博康信息化学品有限公司
起草人：
傅志伟、邵严亮、贺宝元、薛春、杨影影
出版信息：
页数：- | 字数：- | 开本： -

内容描述

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