GB/T 43603.3-2024 镍铂靶材合金化学分析方法 第3部分：碳含量的测定 高频红外检测法

ICS77.040.30

CCSH15

中华人民共和国国家标准

/—

GBT43603.32024

镍铂靶材合金化学分析方法

:

第部分碳含量的测定

3

高频红外检测法

—

Methodsforchemicalanalsisofnickel-latinumtaretallos

ypgy

:—

Part3Determinationofcarboncontent

Hihfreuencinfrareddetectionmethod

gqy

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT43603.32024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是镍铂靶材合金化学分析方法的第部分已经发布了以下

GBT436033GBT43603

部分:

———:;

第部分铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

1

———:、、、、、、、、、、、、、、、、

第部分镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银钯锡钐铅硅含量的测定电感耦合

2

等离子体质谱法;

———:。

第部分碳含量的测定高频红外检测法

3

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国有色金属工业协会提出。

(/)。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口

:、()、()

本文件起草单位贵研铂业股份有限公司贵研检测科技云南有限公司国标北京检验认证有

、、、

限公司有研亿金新材料有限公司北京有色金属与稀土应用研究所有限公司北矿检测技术股份有限

、、、

公司深圳市中金岭南有色金属股份有限公司韶关冶炼厂紫金矿业集团股份有限公司紫金铜业有限

、、、

公司上海有色金属工业技术监测中心有限公司中铝郑州有色金属研究院有限公司中国检验认证集

、()、、

团广西有限公司国合通用青岛测试评价有限公司金川集团股份有限公司深圳众诚达应用材料股

份有限公司。

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人孙祺李秋莹汪原伊陈国华朱武勋王长华刘朝方徐钊徐晓艳左鸿毅

、、、、、、、、、、、、、

孔海英李文英朱云张莹莹江荆刘含笑白伟华李娜阮桂色周科华罗荣根廖彬玲吴魏成

、、。

史雅婷吕超黄勇彪

Ⅰ

/—

GBT43603.32024

引言

,,

镍铂靶材合金广泛应用于半导体工业是保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料不同

,,

铂含量的镍铂靶材合金具有特殊的组织和性能在半导体制造工艺中发挥了重要作用而镍铂靶材合金

。,;

的杂质成分直接关系镍铂靶材合金的溅射性能因此镍铂靶材合金的化学成分分析显得尤为重要

/,。

GBT43603根据检测对象和检测手段的不同拟由以下三个部分构成

———:。

第部分铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法目的在于规定镍铂靶材合金

1

中铂含量测定的电感耦合等离子体原子发射光谱法及适用的测定范围;

———:、、、、、、、、、、、、、、、、

第部分镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银钯锡钐铅硅含量的测定电感耦合

2

。、、、、、、、、、、、、

等离子体质谱法目的在于规定镍铂靶材合金中镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银

、、、、;

钯锡钐铅硅含量测定的电感耦合等离子体质谱法及适用的测定范围

———:。

第部分碳含量的测定高频红外检测法目的在于规定镍铂靶材合金中碳含量测定的高

3

频红外检测法及适用的测定范围。

、、、,

上述各部分文件通过明确适用范围规范试剂材料试验设备和步骤并经过多家实验室反复试验

,,

和验证给出精密度数据增强了不同实验室之间数据的一致性和可比性为检验镍铂靶材合金的品质建

、。

立严谨规范的标准化基础

Ⅱ

/—

GBT43603.32024

镍铂靶材合金化学分析方法

:

第部分碳含量的测定

3

高频红外检测法

———。

警示使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验本文件并未指出所有可能的安全问

。,。

题使用者有责任采取适当的安全和健康措施并保证符合国家有关法规规定的条件

1范围

本文件描述了镍铂靶材合金中碳含量的测定方法。

。():。

本文件适用于镍铂靶材合金中碳含量的测定测定范围质量分数0.001%~0.10%

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/数值修约规则与极限数值的表示和判定

GBT8170

/贵金属及其合金术语

GBT17684

3术语和定义

/界定的术语和定义适用于本文件。

GBT17684

4原理

,,,

在助熔剂存在下试料于高频感应炉的氧气气流中加热燃烧碳与氧生成CO2进入红外检测池测

,。

定CO2吸收峰电脑自动计算出碳的质量分数

5试剂及材料

:,。

5.1高氯酸镁无水粒状或片状

:。

5.2烧碱石棉粒状

5.3石英棉。

:。

5.4三氧化硫吸收剂脱脂棉

()。

5.5丙酮分析纯

:,,。

5.6纯铁助熔剂w≥99.95%w≤0.0005%粒度≤1.25mm

FeC

:,。

5.7钨锡助熔剂w≤0.0005%粒度≤1.4mm

C

:,。

5.8陶瓷坩埚1200℃灼烧2h至空白值恒定冷却后保存在干燥器中备用

:—()、()、

5.9标准物质推荐标准物质YSBC21080-22008w=0.001%LECO502-809w=0.023%

CC

1