GB/T 43603.2-2024 镍铂靶材合金化学分析方法 第2部分：镁、铝、钛、钒、铬、锰、铁、钴、铜、锌、锆、银、钯、锡、钐、铅、硅含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

ICS77.040.30

CCSH15

中华人民共和国国家标准

/—

GBT43603.22024

镍铂靶材合金化学分析方法

:、、、、、、、

第部分镁铝钛钒铬锰铁

2

、、、、、、、、、

钴铜锌锆银钯锡钐铅硅

含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

—

Methodsforchemicalanalsisofnickel-latinumtaretallos

ypgy

:,,,,

Part2Determinationofmanesiumaluminiumtitaniumvanadium

g

,,,,,,,,,

chromiummananeseironcobaltcoerzinczirconiumsilveralladium

gppp

,,,—

tinsamariumleadsiliconcontents

Inductivelcouledlasmamasssectrometr

ypppy

2024-03-15发布2024-10-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT43603.22024

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是镍铂靶材合金化学分析方法的第部分已经发布了以下

GBT436032GBT43603

部分:

———:;

第部分铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法

1

———:、、、、、、、、、、、、、、、、

第部分镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银钯锡钐铅硅含量的测定电感耦合

2

等离子体质谱法;

———:。

第部分碳含量的测定高频红外检测法

3

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

本文件由中国有色金属工业协会提出。

(/)。

本文件由全国有色金属标准化技术委员会SACTC243归口

:、()、

本文件起草单位贵研铂业股份有限公司贵研检测科技云南有限公司北京有色金属与稀土应

、、、()

用研究所有限公司有研亿金新材料有限公司深圳市中金岭南有色金属股份有限公司国标北京检

、、、

验认证有限公司北矿检测技术股份有限公司铜陵有色金属集团控股有限公司大冶有色设计研究院

、、()、

有限公司紫金铜业有限公司南京市产品质量监督检验院南京市质量发展与先进技术应用研究院

、。

山西北方铜业有限公司广东省科学院工业分析检测中心

:、、、、、、、、、、

本文件主要起草人李秋莹赵万春王传军朱武勋孙祺何姣方海燕汪原伊姚芳鲍叶琳

、、、、、、、、、、、、、

何剑文张强孙梦荷王洋郑佩黄路路高瑞峰昝敏娇陈晓东廖桂平肖红新严鹏潘晓玲

、、。

刘芳美张梦甜刘朝方

Ⅰ

/—

GBT43603.22024

引言

,,

镍铂靶材合金广泛应用于半导体工业是保证半导体器件性能和发展半导体技术的关键材料不同

,,

铂含量的镍铂靶材合金具有特殊的组织和性能在半导体制造工艺中发挥了重要作用而镍铂靶材合金

。,;

的杂质成分直接关系镍铂靶材合金的溅射性能因此镍铂靶材合金的化学成分分析显得尤为重要

/,。

GBT43603根据检测对象和检测手段的不同拟由三个部分构成

———:。

第部分铂含量的测定电感耦合等离子体原子发射光谱法目的在于规定镍铂靶材合金

1

中铂含量测定的电感耦合等离子体原子发射光谱法及适用的测定范围;

———:、、、、、、、、、、、、、、、、

第部分镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银钯锡钐铅硅含量的测定电感耦合

2

。、、、、、、、、、、、、

等离子体质谱法目的在于规定镍铂靶材合金中镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银

、、、、;

钯锡钐铅硅含量测定的电感耦合等离子体质谱法及适用的测定范围

———:。

第部分碳含量的测定高频红外检测法目的在于规定镍铂靶材合金中碳含量测定的高

3

频红外检测法及适用的测定范围。

、、、,

上述各部分文件通过明确适用范围规范试剂材料试验设备和步骤并经过多家实验室反复试验

,,

和验证给出精密度数据增强了不同实验室之间数据的一致性和可比性为检验镍铂靶材合金的品质建

、。

立严谨规范的标准化基础

Ⅱ

/—

GBT43603.22024

镍铂靶材合金化学分析方法

:、、、、、、、

第部分镁铝钛钒铬锰铁

2

、、、、、、、、、

钴铜锌锆银钯锡钐铅硅

含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

———。

警示使用本文件的人员应有正规实验室工作的实践经验本文件并未指出所有可能的安全问

。,。

题使用者有责任采取适当的安全和健康措施并保证符合国家有关法规规定的条件

1范围

、、、、、、、、、、、、、、、、

本文件描述了镍铂靶材合金中镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银钯锡钐铅硅含量的测

定方法。

、、、、、、、、、、、、、、、、

本文件适用于镍铂靶材合金中镁铝钛钒铬锰铁钴铜锌锆银钯锡钐铅硅含量的测

。。

定测定范围见表1

表1测定范围

()()

测定范围质量分数测定范围质量分数

元素元素

%%

Ti0.000010~0.010Pd0.000050~0.010

Ag0.000010~0.010Pb0.000050~0.010

Sn0.000010~0.010Mg0.00010~0.010

Sm0.000010~0.010Cu0.00010~0.010

Zn0.000050~0.010Fe0.00010~0.010

Al0.000050~0.010Co0.00010~0.010

Cr0.000050~0.010Zr0.00010~0.010

Mn0.000050~0.010Si0.00050~0.010

V0.000050~0.010——

2规范性引用文件

。,

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

,;,()

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

本文件。

/数值修约规则与极限数值的表示和判定

GBT8170

/贵金属及其合金术语

GBT17684

1