GB/T 31987-2015 电子工业用气体 锗烷

ICS71.100.20

G86

中华人民共和国国家标准

/—

GBT319872015

电子工业用气体锗烷

—

GasforelectronicindustrGermane

y

国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页

2015-09-11发布2016-05-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

/—

GBT319872015

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

。。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别这些专利的责任

国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页

Ⅰ

/—

GBT319872015

电子工业用气体锗烷

1范围

、、、、。

本标准规定了锗烷的技术要求试验方法标志包装贮运和安全

、、。

本标准适用于氯化锗还原电解氧化锗的硫酸溶液锗镁合金与盐酸反应等方法得到的锗烷产品

、、、、、、。

它用于化学试剂制取高纯度锗化学气相淀积扩散非晶硅外延离子注入等领域

分子式:。

GeH4

:()。

相对分子质量按年国际相对原子质量计算

76.6622011

2规范性引用文件

。,

下列文件对于本文件的应用是必不可少的凡是注日期的引用文件仅注日期的版本适用于本文

。,()。

件凡是不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于本文件

GB190危险货物包装标志

/工业用化学产品采样安全通则

GBT3723

GB5099钢质无缝气瓶

/:

气体中微量水分的测定第部分光腔衰荡光谱法

GBT5832.33

GB7144气瓶颜色标志国家标准ㅤ可打印ㅤ可复制ㅤ无水印ㅤ高清原版ㅤ去除空白页

GB14193液化气体气瓶充装规定

GB15258化学品安全标签编写规定

GB16804气瓶警示标签

/特种气体储存期规范

GBT26571

/气体分析氦离子化气相色谱法

GBT28726

气瓶安全监察规程(版)

2000

危险化学品安全管理条例(版)

2011

特种设备安全监察条例(版)

2009

3技术要求

锗烷的质量应符合表的要求。

1

表1技术指标

项目指标

()()/-2

锗烷GeH4纯度体积分数10≥99.999

()()/-6

氢H2含量体积分数10<50

()()()/-6

氧氩含量体积分数

O+Ar10≤2

2

氮()()/-6

N2含量体积分数10≤2

()()/-6

一氧化碳CO含量体积分数10≤1

1

/—

GBT319872015

()

表续

1

项目指标

()()/-6

二氧化碳CO2含量体积分数10≤1

()()/-6

甲烷CH4含量体积分数10≤1

()()/-6

水HO含量体积分数10≤3

2

颗粒供需双方商定

4试验方法

、

4.1抽样判定和复验

。,

4.1.1锗烷产品应逐一检验并验收当检验结果有任何一项指标不符合本标准技术要求时则判该产

品不合