国际标准分类(ICS)
19 试验
25 机械制造
29 电气工程
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
-
即将实施
译：T/SCASH 0010-2026 Test method for temperature uniformity of electrostatic suction cups used in semiconductor equipment适用范围：本文件适用于半导体制造领域中静电吸盘在真空环境下的温度均匀性测试。 本文件规定了半导体设备用静电吸盘真空条件下温度均匀性的测试原理、仪器设备、样品、测试方法、精密度【国际标准分类号(ICS)】 ：17.200.99有关热力学的其他标准 【中国标准分类号(CCS)】 ：L56半导体集成电路发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2026-09-19 | 实施时间： 2026-10-17收藏