适用范围：主要技术内容:本文件规定了空分提氦装置（以下简称提氦装置）的设计、出厂检验、标志、包装、储运、安装及验收，现场性能检验。本文件适用于以深冷富集法提取空分中粗氖氦原料气，经净化提纯获得高纯氦产品工艺

适用范围：主要技术内容:本文件规定了液氦生产系统的基本技术要求、氦液化装置、液氦储存、氦气排放、自动控制与检测分析系统。本文件适用于新建、改建、扩建的高纯氦气液化生产系统

适用范围：主要技术内容:本文件规定了液氦集散站的站址安全、总图、工艺系统、设备、管道阀门及附件、仪表及自动控制、公用工程及安全运行要求。本文件适用于使用固定式贮罐存储液氦的陆上新建、扩建和改建的液氦集散站工程的设计

适用范围：主要技术内容:本文件规定了天然气提氦系统的基本要求、工艺设备、管道、阀门、自动控制、辅助设施和安全防护的要求。本文件适用于新建、扩建和改建的由天然气中从事氦气提取的生产单位

适用范围：主要技术内容:本文件规定了液氢和液氦的低温流体不锈钢穿管内衬结构空温式气化器的通用要求、材料、设计、制造、检验要求、出厂文件、包装和运输。本文件适用于最大工作压力不大于100.0MPa、不锈钢穿管内衬结构的液氢和液氦的空温气化器

适用范围：主要技术内容:本文件规定了低空载人氦气球的术语、基本要求、安全操作要求、应急预案与演练。本文件适用于以氦气为充气介质的低空载人氦气球

适用范围：主要技术内容:本文件规定了低温超导磁体氦气回收纯化系统产品规范的性能参数、工艺及技术要求、检验要、求供货文件、包装和储运。本文件适用于采用液氦为冷源的超导磁体，在突然失去超导性能导致液氦大量蒸发、预冷过程中的液氦蒸发和正常工作过程中的液氦蒸发产生的氦气进行回收和纯化的系统

适用范围：主要技术内容:本文件规定空调检漏氦气回收纯化装置的性能要求、工艺及技术要求、检验要求、供货文件、包装、储运。本文件适用于采用膜分离器作为纯化部件的空调检漏氦气回收纯化装置，纯化后氦气纯度≥95%

适用范围：主要技术内容:本文件规定了低空载人氦气球的术语、基本要求、安全操作要求、应急预案与演练。本文件适用于以氦气为充气介质的低空载人氦气球

适用范围：主要技术内容:本文件规定光纤冷却氦气循环利用装置的性能要求、工艺及技术要求、检验要求、供货文件、包装、储运。本文件适用于采用氦气膜分离纯化的光纤冷却氦气循环利用装置，纯化后氦气纯度≥99%

适用范围：范围:本文件规定了电子工业用氟氮混合气的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。 本文件适用于电解无水氟化氢并经过纯化工艺处理后获得的氟，与氮气混合配制而成的电子工业用氟氮混合气; 主要技术内容:项目氟（F2）含量（体积分数）/10-2氮（N2）含量（体积分数）/10-2氧（O2）含量（体积分数）/10-6四氟化碳（CF4）含量（体积分数）/10-6六氟化硫（SF6）含量（体积分数）/10-6一氧化碳（CO）含量（体积分数）/10-6二氧化碳（CO2）含量（体积分数）/10-6氟化氢（HF）含量（体积分数）/10-6

适用范围：范围:本文件规定了工业丙烷脱氢副产氢气产品的分类分型、技术要求、试验方法、包装标志、贮运及安全要求。 本文件适用于丙烷、丁烷或混合原料等低碳烷烃脱氢技术副产的氢气; 主要技术内容:项目氢气（体积）/10-2甲烷（体积）/10-2C2+烃（体积）/10-2氧气（体积）/10-2氮气（体积）/10-2一氧化碳（体积）/10-2二氧化碳（体积）/10-2水

适用范围：主要技术内容:本文件规定了气态氦和液态氦的技术要求、试验方法以及包装、标志及储运、安全要求。本文件适用于填充氦飞艇、飞行船、气球、检漏等氦气，以及光纤、电子、航天航空及低温超导等行业的纯氦、高纯氦、超纯氦

适用范围：主要技术内容:本文件规定了高纯度变压吸附制氮系统（以下简称“制氮系统”）的术语和定义、零部件、基本参数、设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于高纯度变压吸附制氮系统的生产、检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体氟气混合气（以下简称氟气混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用氟气混合气，主要用于激光气、汽车、制药工业中材料氟化处理等领域。氟气混合气中平衡气多采用氮气、氖气或氦气，也可以是其他不与氟气发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体氙/氖混合气（以下简称氙/氖混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本文件适用于电子工业用氙/氖混合气，其测定范围（体积分数）：氙气为0.1%～10%，其它组分比例的氙/氖混合气可参考执行

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体一氟甲烷（以下简称一氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业一氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用一氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体氧/氮混合气（以下简称氧/氮混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存等。本文件适用于电子工业用氧/氮混合气，其测定范围（体积分数）：氧气为0.1%～50%，其它组分比例的氧/氮混合气可参考执行

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟丙烷（以下简称六氟丙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业六氟丙烷为原料经纯化制备的电子工业用六氟丙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体二氟甲烷（以下简称二氟甲烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业二氟甲烷为原料经纯化制备的电子工业用二氟甲烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体