适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体六氟乙烷混合气（以下简称六氟乙烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用六氟乙烷混合气，主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体。六氟乙烷混合气中平衡气多为氧气，也可以是其他不与六氟乙烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用乙硼烷混合气（以下简称乙硼烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用乙硼烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子注入源。乙硼烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与乙硼烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体五氟乙烷（以下简称五氟乙烷）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于以工业五氟乙烷为原料经纯化制备的电子工业用五氟乙烷，它在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电子工业用气体磷烷混合气（以下简称磷烷混合气）的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和储存及安全等。本文件适用于电子工业用磷烷混合气，主要用作外延工艺的掺杂源、扩散工艺的扩散源和离子注入源。磷烷混合气中平衡气多为氦气、氩气、氮气、氢气，也可以是其他不与磷烷发生化学反应，且不影响反应工艺的气体

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变压吸附（PSA）高纯制氮机的术语和定义、产品规格及参数、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随机文件、包装、运输和贮存。本文件适用于在常温下利用分子筛变压吸附法（PSA），氮氧从空气中分离制取氮气，并通过碳载纯化装置进行提纯，氮气含量不低于?99.999%，氮气产量不大于?800?Nm3/h的设备（以下简称“高纯制氮机”）。注1：本文件中氮产量均为标准状态，即?0?℃、0.101 325?MPa（绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3）。注2：压力值除注明者外均为表压值

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变压吸附（PSA）高纯制氧机的术语和定义、产品规格及工况条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、随机文件、包装、运输和贮存。本文件适用于在常温下利用氧分子筛变压吸附法（PSA），氮氧从空气中分离制取氧气，并使用氧气纯化装置进行提纯分离出氩气，氧气含量不低于?99%，氧气产量不大于?300?Nm3/h的设备（以下简称“高纯制氧机”）。注1：本文件中氧产量均为标准状态，即?0?℃、0.101 325?MPa（绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3）。注2：压力值除注明者外均为表压值

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变压吸附空分制氮设备的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于变压吸附空分制氮设备的生产和检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了可回收蒸汽余热膨胀发电装置的术语和定义、构成及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于可回收蒸汽余热膨胀发电装置的生产及检验

适用范围：主要技术内容:本文件规定了氯碱工业氢气的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及安全要求。本文件适用于氯碱工业电解盐水过程形成的氢气。主要用作生产纯氢、高纯氢、超纯氢的原料

适用范围：主要技术内容:本文件规定了电机制动氢气透平膨胀机（以下简称膨胀机）的术语和定义、结构组成与基本参数、基本要求、技术要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存及质量承诺。本文件适用于进气压力不大于 10 MPa，进气温度不高于 350℃ 的富氢气体介质，采用油轴承，经减速箱传动并由发电机制动，额定发电功率不大于 30000 kW 的透平膨胀机

适用范围：主要技术内容:本标准规定了煤基合成气的技术要求、试验方法、检验规则、输送、标志和使用，适用于以煤为主要原料，经气化技术制成的采用管道输送的煤基合成气

适用范围：主要技术内容:本文件规定了智能变压吸附制氮设备（以下简称制氮设备）的术语和定义、产品规格及装置组成、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存

适用范围：主要技术内容:本文件规定了变压吸附制氮设备的术语定义、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于变压吸附制氮设备的生产和检验

适用范围：范围:本文件适用于在常温下采用碳分子筛变压吸附法，从空气中分离制取氮气，制氮产量不大于5000m3/h的设备; 主要技术内容:本文件规定了节能型变压吸附制氮设备的术语和定义、基本参数及设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：范围:本文件规定了特种气体产品碳足迹的术语和定义、原则、范围界定、评价流程、核算方法、评价报告等内容。 本文件适用于特种气体产品碳足迹的评价和通报; 主要技术内容:本文件规定了特种气体产品碳足迹的术语和定义、原则、范围界定、评价流程、核算方法、评价报告等内容。本文件适用于特种气体产品碳足迹的评价和通报

适用范围：主要技术内容:本文件规定了双塔变压吸附（PSA）制氮设备（以下简称“制氮设备”）的术语和定义、基本参数及设计条件、一般要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存。本文件适用于在常温下利用压缩空气采用分子筛变压吸附法，从空气中分离制取氮气，制氮产量不大于5000m3/h的采用两个变压吸附分离塔结构的设备。注1：本文件中氮产量均为标准状态，即0℃、0.101 325 MPa (绝压）状态下的气体量，单位为立方米（m3)。注2：压力值除注明者外均为表压值

适用范围：主要技术内容:本文件规定了循环流化床锅炉炉内炉外联合脱硫参数调整控制要求的术语和定义、结构及原理、参数要求、参数控制要求。本文件适用于循环流化床锅炉炉内炉外联合脱硫参数的调整控制

适用范围：范围:本文件适用于在常温下采用碳分子筛变压吸附法，从空气中分离制取氮气，制氮产量不大于5000m3/h的设备; 主要技术内容:本文件规定了节能型变压吸附制氮设备的术语和定义、基本参数及设计条件、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存

适用范围：主要技术内容:本文件规定了二氧化碳产品的技术要求、试验方法、二氧化碳安全警示及标志、包装、运输和贮存。本文件适用于不同用途二氧化碳产品的质量要求，包括地质封存、驱油、灭火器、医用、电子工业、食品添加剂、工业液体、高纯二氧化碳，其他应用可参照执行

适用范围：本文件给出了氢气管道工程施工的总体要求，规定了施工准备、材料及设备、线路施工、站场工艺管道施工、健康、安全与环保措施、工程交工的要求。 本文件适用于新建或改建、扩建的陆上纯氢、掺氢长输管道工程线路、站场施工。