适用范围：范围:本标准适用于以多晶硅副产六氯乙硅烷为原料提纯或化工合成的集成电路用六氯乙硅烷。集成电路用六氯乙硅烷主要用于半导体行业氧化硅膜、氮化硅膜的低温低压沉积工艺中，也是优良的硅氧烷前驱和光学纤维原料; 主要技术内容:本标准规定了集成电路用六氯乙硅烷的技术要求，检测方法，包装与运输及安全的要求。其中，检测方法涵盖抽样和判定原则、组分的测定和杂质元素含量的测定等内容

适用范围：主要技术内容:本标准规定了计量检测用高纯氮产品的技术要求、检验方法以及包装、标识、贮运、安全警示等。本标准适用于空气分离或经净化得到的气态或液态的高纯氮以及氮气发生器产生的氮气，主要在计量检测中用作保护气、置换气、反应气、载气和零点气等

适用范围：主要技术内容:本标准规定了 7N 光电子级超纯氨的基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮运及安全要求和质量承诺。本标准规定的产品氨适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相沉积，也可用于硅或氧化硅的氮化等生产工艺所使用的氨气。分子式： NH3。相对分子质量： 17.031（按 2016 年国际相对原子量）

适用范围：主要技术内容:本标准规定了电子级八氟环丁烷产品的分类和型号，技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业八氟环丁烷通过吸附纯化、精馏提纯生产的电子级八氟环丁烷产品。该产品是电子行业蚀刻气体

适用范围：主要技术内容:本标准规定了液氢出厂的技术要求、检验规则、试验方法、加注规则、包装标志、储运及安全要求。 本标准适用于以石油化工尾气、氯碱行业副产氢气、钢铁行业副产氢气、煤制氢以及弃风电、弃光电水电解制氢等为原料，经变压吸附和低温吸附联用的纯化氢气方法制取的液氢，汽化加压后加注应用。 本标准适用于燃料电池车用氢燃料、电子工业用和科学研究用超纯氢源

适用范围：主要技术内容:本规程规定了干冰的包装要求、包装材料选用和包装标志及干冰运输安全要求。 本规程适用于除海运或空运等有特殊要求以外的干冰产品运输包装

适用范围：主要技术内容:本标准规定了医用二氧化碳的技术要求、试验方法以及包装、标志、贮运、安全警示等内容。 本标准适用于以食品添加剂 二氧化碳为原料经纯化制得的医用二氧化碳,主要用于医疗领域

适用范围：主要技术内容:本标准规定了超纯氧化亚氮产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。本标准适用于已二酸尾气和硝酸铵分解中生成的氧化亚氮经吸附纯化、精馏提纯生产的超纯氧化亚氮

适用范围：主要技术内容:本标准规定了超纯氨产品的技术要求，试验方法，检验规则，标志、包装、运输、贮存等。 本标准适用于工业液氨通过吸附预纯化、精馏提纯、终端纯化生产的超纯氨产品。该产品是微电子氮化硅掩蔽膜的主要原材料，是半导体、光电子领域、发光二极管（LED）行业的重要原材料

适用范围：主要技术内容:本标准规定了瓶装超纯三氟化氮的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输、储存和安全。 本标准适用于电解合成粗品三氟化氮，通过精馏提纯生产的超纯三氟化氮。它主要用作电子工业中等离子体工艺蚀刻剂和化学气相沉积的清洗剂

适用范围：范围:本标准规定了电子级二乙基锌的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于电子级二乙基锌; 主要技术内容:本标准规定了电子级二乙基锌的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于电子级二乙基锌

适用范围：范围:本标准规定了电子工业用气体氨的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于以工业氨为原料，采用吸附、精馏方法提纯制得的电子工业用气体氨。 分子式：NH3。 相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）; 主要技术内容:本标准规定了电子工业用气体氨的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于以工业氨为原料，采用吸附、精馏方法提纯制得的电子工业用气体氨。分子式：NH3。相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）

适用范围：范围:本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。 本标准适用于电子工业用气体一氧化氮; 主要技术内容:本标准规定了电子工业用气体一氧化氮的技术要求、试验方法、检验规则及产品的包装、标志、运输、贮存及安全要求。本标准适用于电子工业用气体一氧化氮

适用范围：主要技术内容:本标准规定了深冷法空气分离设备（以下简称空分设备）的组成及型号、技术要求、检验检测、标志、包装、运输及贮存、安装要求。本标准适用于以深冷法分离空气制取氧、氮及氩等稀有气体产品的空分设备