T/ICMTIA ESG0031-2022 集成电路用电子特种气体产品通用规范

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标准号

T/ICMTIA ESG0031-2022

标准类型

团体标准

标准状态

现行

中国标准分类号（CCS）

国际标准分类号（ICS）

01.020 术语学(原则和协调配合)

发布日期

2022-07-04

实施日期

2022-07-31

发布单位/组织

归口单位

中关村集成电路材料产业技术创新联盟

适用范围

主要技术内容:本文件规定了集成电路用特种气体产品的分类、检验规则、标志、包装、运输及贮存的通用要求。本文件适用于各种集成电路用特种气体产品。如有特殊要求，应在具体产品标准中予以明确

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起草单位：: 中关村集成电路材料产业技术创新联盟、欧中电子材料（重庆）有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、福建德尔科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、全椒南大光电材料有限公司、广东华特气体股份有限公司、大连保税区科利德化工科技开发有限公司、贵州威顿晶磷电子材料股份有限公司、江苏雅克科技股份有限公司、绿菱电子材料（天津）有限公司、苏州金宏气体股份有限公司、博纯材料股份有限公司、上海正帆科技股份有限公司、安徽亚格盛电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、浙江陶特容器科技股份有限公司、中昊光明化工研究设计院有限公司

起草人：: 王大方、雷海平、万烨、曹素英、赖金香、陈刚、赵铁、郑秋艳、纪振红、孙建、傅铸红、叶相平、施旖旎、蒋飚、祝飘、叶骏超、汤萍、孙猛、龚施健、李东升、徐昕、俞冬雷、侯鹏、钱吉、谈益强、高天龙

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