适用范围：范围:1.1 主题内容 本文件规定了封装电子材料在真空条件下放气率的检测用设备、计量特性、检测原理、检测步骤和检测结果的处理。 1.2 适用范围 本文件适用于固定流导法、对称结构流导法测量材料放气流量（对于能确定表面积的样品，检测项目为材料放气率），其中固定流导法测量范围为（1×10-5~ 1×10-8）Pa·m3/s，对称结构流导法的测量范围为（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s; 主要技术内容:1  范围1.1  主题内容本文件规定了封装电子材料在真空条件下放气率的检测用设备、计量特性、检测原理、检测步骤和检测结果的处理。1.2  适用范围本文件适用于固定流导法、对称结构流导法测量材料放气流量（对于能确定表面积的样品，检测项目为材料放气率），其中固定流导法测量范围为（1×10-5~ 1×10-8）Pa·m3/s，对称结构流导法的测量范围为（1×10-8~1×10-11）Pa·m3/s。2  规范性引用文件下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款。凡是注日期的引用文件，其随后所有的修改单（不包含勘误的内容）或修订版均不适用于本标准，然而，鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本。凡是不注日期的引用文件，其最新版本适用于本标准。GB/T  3163 真空技术  术 语GB/T  18193 真空技术 质谱检漏仪校准3  术语定义GB/T  3163 界定的以及下列术语和定义适用于本文件。3.1  放气流量  gas flow rate在单位时间内材料或部件向真空状态下释放出的气体量。注：单位为帕立方米每秒（Pa·m3/s）。3.2  放气率  outgassing  rate某种材料在单位时间内、单位几何面积上释放出的气体量。注：单位为帕立方米每秒平方厘米[Pa·m3/(s ·cm2)]。4  检测用设备封装电子材料真空放气率检测装置（一套）4.1 装置组成封装电子材料真空放气率检测装置包括固定流导法材料放气检测系统和对称结构流导法材料放气检测系统。两种方法材料放气检测系统原理如图1所示。RP-干泵；TMP1、TMP2-分子泵；VC1-样品室；VC2-参考室；VC3-抽气室；V1~V9-阀门；G1-复合真空计；G2、G3-电离真空计；C1、C2-流导小孔；QMS-四极质谱计；FLM-标准气体流量计；1-固定流导法材料放气

适用范围：范围:本标准适用于电子仪器行业中，检测漏率要求在（1×10-11~5×10-16）Pa·m3/s范围内的行波管、速调管、光电器件、陀螺仪、功率开关器件等电子器件产品; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1  超灵敏度检漏 Ultrasensitive leak detection将漏率小于1×10-11 Pa·m3/s的微小漏率检测检称为超灵敏度检漏。3.2  离子流 Ion current质谱计测量气体成分指示的电信号强度大小，其单位为安培。3.3  累积比较法 Cumulative comparison method将被检件泄漏的示漏气体和标准气体流量分别引入质谱分析室内，在质谱分析室切断真空抽气机组后对示漏气体进行累积，用质谱计测量示漏气体在质谱分析室内引起的离子流随着时间的变化率，用标准气体流量所泄漏示漏气体引起质谱计的变化率为标准，通过离子流变化率在一定范围内的线性关系计算得到被检件泄漏漏率的方法。4  概述4.1  构造电子器件微小漏率检测使用的超灵敏度检漏仪主要由内置标准气体流量、质谱分析系统、真空获得系统、电子线路及其他电气部分组成，1为真空抽气机组；2、4、8、9为真空阀门；3为质谱分析室；5为吸气剂泵；6为质谱计；7为内置标准气体流量；10为被检件；13为真空计。装置结构原理图如图1所示。图1 超灵敏度检漏仪结构原理图4.2  原理将被检件泄漏的示漏气体和超灵敏度检漏仪内置标准气体流量分别引入真空室内，在真空室切断抽气系统后对示漏气体进行累积，用质谱计测量示漏气体在真空室内引起的离子流随着时间的变化率，用标准气体流量引起质谱计的变化率为标准，通过离子流变化率在一定范围内的线性关系计算得到被检件的漏率。被检测的漏率通过公式（1）计算：Q_L=Q_s  (R_L-R_0)/(R_s-R_0 )（1）其中，Q_s 是超灵敏度检漏仪内置标准气体流量7的漏率值；Q_L是超灵敏度检漏仪测得的被检件10的漏率值；R0是在t0时间内质谱计6测量到质谱分析室3中氦气本底离子流信号变化ΔI_0的变化率，即R_0=(ΔI_0)/(Δt_0 )；R_L是在Δt_L时间内质谱计6测量到质谱分析室3中被检件提供氦气离子流信号变化ΔI_L的变化率，即R_L=(ΔI_L)/(Δt_L )；R_s为质谱计6在Δt_s时间内测量到质谱分析室3中标准气体流量

适用范围：范围:本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1动态流量法 Dynamic flow method采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。3.2动态比较法 Dynamic comparison method采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。4  概述4.1  构造真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀；V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀； G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。图1 真空度现场校准装置原理图原理4.2.1 动态流量法动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：P_2=P_1  C1/(C_2 (1- ) )                       （1）式中：—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；—校准室中的压力，单位：Pa；C1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；C2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；—限流抽气小孔C2处的返流比。4.2.2动态比较法通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。4.3   技术指标本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。表1  压力示值允许误差限真空计种类标准项目超高真空电离真空计热阴极电离真空计冷阴极电离真空计压力示值允许误差限±70%±50%+100%；-60%4.4   通用技术

适用范围：主要技术内容:本标准适用于加氢站用氢气卸气柱的校准

适用范围：主要技术内容:设计要求产品设计采用海洋水质传感器敏感元件自动更换装置，通过敏感单元冗余设计提高传感器水下工作时间，同时规定了材料选择、多种传感器兼容性、传感器探头互换性、更换用时、更换条件等设计要求，实现现有海洋水质传感器的原位免维护功能

适用范围：主要技术内容:本标准适用于测量范围不大于3000 μ mol/mol的微量氢气检测报警仪（以下简称仪器）的校准

适用范围：范围:本文件适用于石英挠性加速度计用综合自动测试系统的校准; 主要技术内容:本文件规定了石英挠性加速度计用综合自动测试系统的概述、计量特性、校准条件、校准项目和校准方法、校准结果的处理、复校时间间隔

适用范围：范围:本文件适用于石英挠性加速度计用全温自动测试系统的校准; 主要技术内容:本文件规定了石英挠性加速度计用全温自动测试系统的概述、计量特性、校准条件、校准项目和方法、校准结果的处理和复校时间间隔

适用范围：范围:本文件规定了办公场所绿色低碳运行的基本要求、评价指标体系、评价及评价结果，以及评价结果信息公开。 本文件主要适用于办公用场所绿色低碳运行性能的评价; 主要技术内容:5评价指标体系安全与健康5.1.1确保安全走廊、疏散通道等通行空间满足紧急疏散、应急救护等要求，且保持畅通。具有安全防护的警示和引导标识系统。配备必要的消防措施，满足所在地的消防要求。其他。注：5.1.1.4 应是确保安全的措施，但与 5.1.1.1 ～ 5.1.1.3 有一定差别。5.1.2促进健康舒适采取措施避免餐厅、打印复印室、地下车库等区域的空气和污染物逸散到其他空间。防止厨房、卫生间的排气倒灌。采取措施优化主要功能房间的室内隔声效果。充分利用自然采光，室内照度和照明时间宜结合办公使用需求和自然采光状况进行调节。主要功能房间具有现场独立控制的温度调节装置，具有良好的温度环境。具有良好的湿度环境。其他。注：5.1.2.7 应是促进健康舒适的措施，但与 5.1.2.1 ～ 5.1.2.6 有一定差别。环境宜居与工作生活便利5.2.1促进环境宜居生活垃圾分类收集，垃圾容器和收集点的设置合理并与周围景观协调。室外吸烟区布置在办公场所主出入口的主导风的下风向，与所有办公场所出入口、新风进气口和可开启窗扇的距离不少于8m。室外吸烟区与绿植结合布置，并合理配置座椅和带烟头收集的垃圾桶，从办公场所主入口至室外吸烟区的导向标识完整、定位标识醒目，吸烟区设置吸烟有害健康的警示标识。其他。注：5.2.1.4 应是促进环境宜居的措施，但与 5.2.1.1 ～ 5.2.1.3 有一定差别。5.2.2促进工作生活便利办公场所应设置信息网络系统。配置有智能化服务系统，具有供电控制、照明控制、安全报警、环境监测、办公区域设备（如，投影设备、打印机、碎纸机）控制、工作生活服务设备（如，空调、抽湿机、加湿器）控制等至少3种类型的服务功能。其他。注：5.2.2.3 应是促进工作生活便利的措施，但与 5.2.2.1 ～ 5.2.2.2 有一定差别。绿色低碳管理5.3.1工作机构设置及人员配备内部成立绿色低碳工作机构，并安排专职人员开展工作。定期安排绿色低碳工作会议，监测和评估绿色低碳工作的进展和绩效。其他。注：5.3.1.3 应是与工作机构设置及人员配备相关的措施，但与 5.3.1.1 ～ 5.3.1.2 有一定差别。5.3.2

适用范围：范围:本标准界定了便携式润滑油快速污染度检测仪的术语和定义，规定了机械性能、电气性能、检测性能、接口、软件等技术要求，描述了相应的试验方法、检验规则，规定了标识、包装、运输及贮存等方面的内容。 本标准适用于便携式润滑油快速污染度检测仪的设计、制造、验收; 主要技术内容:结构和外观、机械性能、外壳防护等级、电气性能、检测性能、环境适应性的技术要求及检测方法，产品检验规则、标识、包装、运输和贮存要求

适用范围：主要技术内容:本文件规定了可定量取样设备的术语和定义、结构及原理、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。本文件适用于可定量取样设备的生产及检验

适用范围：范围:本方法规定了信号源远程检定的相关内容，包括远程检定项内容、远程检定流程等。 本方法适用于Keysight公司EXG、MXG、PSG系列信号源设备远程检定; 主要技术内容:4远程检定条件针对信号源远程检定的环境条件、检定用设备内容概述。4.1环境条件（1）环境温度：（20 ±5）℃ ；（2）相对湿度： ≤80%；（3）电源电压：220（1±5%），（50±1）Hz；（4）周围无影响仪器正常工作的电磁干扰和机械振动。4.2检定用设备（1）矢量信号分析仪：PXIe-5668R；（2）功率计：USB-5681；（3）数表：PXIe-4071；（6）主控计算机：windows操作系统。5远程检定方法步骤5.1硬件操作步骤（1）设备准备：确保信号源仪器、矢量信号分析仪、功率计以及主控计算机都处于良好的工作状态。检查所有连接线GPIB总线、网线是否完好，并确保它们能够正确连接各个设备。（2）设备连：使用GPIB总线或网线等将信号源仪器、标准仪器和主控计算机连接起来。确保连接正确无误，并检查设备的通信状态，确保它们能够正常通信。（3）环境设置调整检定环境，确保温度、湿度、交流供电电源等条件符合检定规程的要求。消除周围可能影响检定工作的电磁干扰和机械振动。（4）仪器初始化打开主控计算机上的远程控制软件，并进行初始化设置。在软件中设置信号源仪器的型号、参数等，确保软件能够正确识别和控制信号源仪器。5.2远程检定操作步骤（1）基本信息登记在软件中登记送检信号源仪器的基本信息，如型号、编号、生产日期等。确保信息准确无误，以便后续的数据管理和报告生成。（2）检定项目选择根据检定规程的要求，在软件中选择需要校准的项目。这些项目可能包括扫频宽度、噪声边带、频率读数准确度、分辨力带宽等。（3）检定实施在软件中启动检定流程，并按照提示逐步进行操作。软件将自动控制信号源仪器和标准仪器进行检定测量，并记录测量数据。（4）结果分析校准完成后，软件将自动分析测量数据，并给出校准结果。用户可以查看校准结果的详细信息，包括各项指标的测量值、误差范围等。（5）报告生成：根据校准结果，软件将自动生成检定报告。用户可以保存、打印或导出报告，以便后续的数据管理和使用。（6）仪器复位与清理：校准完成后，将信号源仪器复位到初始状态，并清理检定现场。确保所有设备都关闭并断开电源，以确保安全

适用范围：主要技术内容:本文件规定了接触式与非接触式测量仪器操作的术语和定义、环境条件、外观要求、安全要求、操作流程、异常处理、使用维护与注意事项。本文件适用于接触式与非接触式测量仪器的操作规范培训和管理

适用范围：范围:本方法适用于推力大小在（0.5~1000）mN范围内的可用三丝扭摆推力测量装置测试的电推进推力的测量; 主要技术内容:术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1  三丝扭摆推力测量装置三丝扭摆推力测量装置主要由三根扭丝悬提的水平横梁、配重、位移传感器、阻尼器等构成，通常用来测量平均推力或稳态推力。4  概述4.1  原理三丝扭摆推力测量装置是基于三丝扭摆和光杠杆放大原理进行推力的测量。在真空环境中标定时，砝码校准装置作用在扭摆平台上的作用力方向水平，通过记录扭转平台的偏转位移，得到推力与位移之间的线性管线，实现对推力测量系统的标定；在真空环境中测试时，推力器作用在扭摆平台上的作用力方向水平，通过得到的位移并结合推力与位移之间的线性关系，实现对推力器推力的测量。原理框图如图1所示。图1三丝扭摆推力测量装置原理框图如图1所示，为扭摆偏转角；为光斑位移；F为推力器产生的推力；为悬丝长度；为推力相对于扭摆中心的力臂；G为摆盘、推力器和配重总质量；R为悬丝到扭摆中心的距离。根据几何关系可得偏转位移与偏转角的关系：(1)根据扭矩平衡原理可得力与偏转角的关系：(2)由式（1）、式（2）可得推力F与光斑位移的关系式：(3)当偏转角时，(4)此时，(5)由式（5）可以看出，在一定的测量条件下，当偏转角在10°以内时，推力F与光斑位移成正比。4.2  构造三丝扭摆推力测量装置主要由摆架结构、激光测距仪和砝码校准装置构成。4.2  用途三丝扭摆推力测量装置主要用于测量霍尔推力器和离子推力器推力的测量装置。5  校准环境5.1  环境条件a)环境温度：22℃±2℃；b)相对湿度：45%～55%；c)供电电源：(220±20)V，(50±1)Hz；d)周围无影响正常测试的电磁干扰和机械振动。5.2  校准用设备测量所用仪器设备应经过计量技术机构检定（或校准），满足测量使用要求，并在有效期内。测量用主要设备及性能要求如下：1)三丝扭摆推力测量装置推力测量范围为（0.5~1000）mN，推力在（0.5~5）mN范围内，最大允许误差±1%FS，推力在（5~1000）mN范围内，最大允许误差±1%。2)真空环境模拟装置极限真空度：1E-5Pa。3)激光测距仪激光测距仪的有效位移范围为（100±35）mm，分度值为0.07mm。4)标准砝码砝码等级应为F1级及以上。5)升降推杆升降距离应为300

适用范围：主要技术内容:本文件规定了SF6 气体综合分析仪技术规范的仪表组成、通用要求、技术要求、试验方法、检验规则以及标志、标签、说明书、运输与贮存。本文件适用于SF6 气体综合分析仪技术规范的应用与测试

适用范围：范围:本方法规定了示波器远程检定的相关内容，包括示波器的远程检定项内容、远程检定流程等。 本方法适用于Keysight公司DSO系列、Tektronix公司TDS系列范围内的示波器设备远程检定; 主要技术内容:4远程检定条件针对示波器的远程检定的环境条件、检定用设备内容概述。4.1环境条件（1）环境温度：（20 ±5）℃ ；（2）相对湿度： ≤80%；（3）电源电压：220（1±5%），（50±1）Hz；（4）周围无影响仪器正常工作的电磁干扰和机械振动。4.2检定用设备（1）信号发生器：PXIe-5654RF（2）数表：PXIe-4137（3）功率计：USB-5681（4）时基：PXIe-6674T（5）直流源模块：PXIe-4137（6）程控计算机：windows操作系统。5远程检定方法步骤5.1硬件操作步骤（1）设备准备确保示波器、信号发生器、数表、功率计、直流源模块以及程控计算机都处于良好的工作状态。检查所有连接线GPIB总线、网线是否完好，并确保它们能够正确连接各个设备。（2）设备连接使用GPIB总线或网线等将示波器、标准仪器和程控计算机连接起来。确保连接正确无误，并检查设备的通信状态，确保它们能够正常通信。（3）环境设置调整检定环境，确保温度、湿度、交流供电电源等条件符合检定规程的要求。消除周围可能影响检定工作的电磁干扰和机械振动。（4）仪器初始化打开程控计算机上的远程控制软件，并进行初始化设置。在软件中设置示波器的型号、参数等，确保软件能够正确识别和控制示波器。5.2远程检定操作步骤（1）基本信息登记在软件中登记送检示波器的基本信息，如型号、编号、生产日期等。确保信息准确无误，以便后续的数据管理和报告生成。（2）检定项目选择根据检定规程的要求，在软件中选择需要校准的项目。这些项目可能包括扫频宽度、噪声边带、频率读数准确度、分辨力带宽等。（3）检定实施在软件中启动检定流程，并按照提示逐步进行操作。软件将自动控制示波器和标准仪器进行检定测量，并记录测量数据。（4）结果分析校准完成后，软件将自动分析测量数据，并给出校准结果。用户可以查看校准结果的详细信息，包括各项指标的测量值、误差范围等。（5）报告生成：根据校准结果，软件将自动生成检定报告。用户可以保存、打印或导出报告，以便后续的数据管理和使用。（6）仪器复位与清理：校准完成后，将示波器复位到初始状态，并清

适用范围：主要技术内容:本文件规定了测量管理体系的关键测量过程中产品几何量参数的识别和确定、计量要求导出、不确定度评定。本文件适用于测量管理体系的关键测量过程中几何量测量的不确定度评定

适用范围：范围:本方法规定了频谱仪远程检定流程、检定条件、检定项目及检定方法、计量流程等内容。 本方法适用于Keysight公司EXA、MXA、PXA系列、罗德与施瓦茨公司FSV系列范围内的频谱仪设备远程检定; 主要技术内容:4 远程检定条件针对频谱仪远程检定的环境条件、检定用设备内容概述。4.1 环境条件（1）环境温度：（20 ±5）℃ ；（2）相对湿度： ≤80%；（3）电源电压：220（1±5%），（50±1）Hz；（4）周围无影响仪器正常工作的电磁干扰和机械振动。4.2 检定用设备（1）信号发生器：PXIe-5654RF；（2）功率计：USB-5681；（3）程控电脑：windows操作系统。5 远程检定方法步骤5.1 硬件操作步骤（1）设备准备确保频谱分析仪、如频率计数器、功率计以及主控计算机都处于良好的工作状态。检查所有连接线GPIB总线、网线是否完好，并确保它们能够正确连接各个设备。（2）设备连接使用GPIB总线或网线等将频谱分析仪、标准仪器和主控计算机连接起来。确保连接正确无误，并检查设备的通信状态，确保它们能够正常通信。（3）环境设置调整检定环境，确保温度、湿度、交流供电电源等条件符合检定规程的要求。消除周围可能影响检定工作的电磁干扰和机械振动。（4）仪器初始化打开主控计算机上的远程控制软件，并进行初始化设置。在软件中设置频谱分析仪的型号、参数等，确保软件能够正确识别和控制频谱分析仪。5.2 远程操作步骤（1）基本信息登记在软件中登记送检频谱分析仪的基本信息，如型号、编号、生产日期等。确保信息准确无误，以便后续的数据管理和报告生成。（2）检定项目选择根据检定规程的要求，在软件中选择需要校准的项目。这些项目可能包括扫频宽度、噪声边带、频率读数准确度、分辨力带宽等。（3）检定实施在软件中启动检定流程，并按照提示逐步进行操作。软件将自动控制频谱分析仪和标准仪器进行检定测量，并记录测量数据。（4）结果分析校准完成后，软件将自动分析测量数据，并给出校准结果。用户可以查看校准结果的详细信息，包括各项指标的测量值、误差范围等。（5）仪器复位与清理：校准完成后，将频谱分析仪复位到初始状态，并清理检定现场。确保所有设备都关闭并断开电源，以确保安全。6 检定项目通过远程方法连接各类频谱仪设备进行以下相关内容的检定。6.1 远程检定检定项目表1频谱仪远程检定项目表序号检定项目标

适用范围：主要技术内容:本文件规定了抗眩光位姿视频测量的荧光标记点的基本原理、制备方法、质量检测与安全

适用范围：主要技术内容:本文件规定了实时位姿视频测量系统的流水线模型基本原理和优化方法