T/BEA 40004-2024 （10-1~10-7）Pa真空计现场校准规范

范围:本规范适用于采用真空度现场校准装置对测量范围为（10-1~10-7）Pa内的真空计实现工作现场的校准和使用中检查; 主要技术内容:3  术语定义下列术语和定义适用于本规范。3.1动态流量法 Dynamic flow method采用动态流量的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。3.2动态比较法 Dynamic comparison method采用动态的方法得到的标准压力与被校准真空计所测压力相比较的校准方法。4  概述4.1  构造真空计现场校准使用的真空度现场校准装置具有小巧、便携、容易移动的特性，能够带入生产现场开展校准工作。真空度现场校准装置主要由校准室、标准真空计、抽气系统、控制系统等组成，RP1为机械泵；TMP1、TMP2为分子泵；VC1为校准室；VC2为稳压室；C1，C2，C3是小孔；V1为插板阀；V4为微调阀；V11、V12为电磁阀；其余阀门为球阀； G1为电离规；G2为全量程真空计；G3、G4、G5是满量程为133Pa、1330 Pa、133000Pa的电容薄膜真空计，装置原理图如图1所示。图1 真空度现场校准装置原理图原理4.2.1 动态流量法动态流量法是在分子流条件下采用进气小孔C1对较高压力的气体连续膨胀到校准室中，通过校准室下方的限流抽气小孔C2对校准室连续抽气，在校准室中形成动态平衡的稳定压力，以此压力作为参考标准校准真空计。标准压力的计算公式如下：P_2=P_1  C1/(C_2 (1- ) )                       （1）式中：—进气小孔C1入口的压力，单位：Pa；—校准室中的压力，单位：Pa；C1—进气小孔C1的标准流导值，单位：m3/s；C2—限流抽气小孔C2的标准流导值，单位：m3/s；—限流抽气小孔C2处的返流比。4.2.2动态比较法通过进气阀门向校准室中引入一定量的气体，同时通过校准室下方的限流抽气小孔对校准室连续抽气，在校准室内形成动态稳定的气体压力，通过被校准真空计和参考标准同时测量校准室压力，进行比较从而实现校准。4.3   技术指标本标准要求的计量技术指标为压力示值误差，真空计压力示值允许误差限见表1。表1  压力示值允许误差限真空计种类标准项目超高真空电离真空计热阴极电离真空计冷阴极电离真空计压力示值允许误差限±70%±50%+100%；-60%4.4