国际标准分类(ICS)
19 试验
25 机械制造
29 电气工程
31 电子学
37 成像技术
45 铁路工程
61 服装工业
65 农业
67 食品技术
71 化工技术
77 冶金
79 木材技术
85 造纸技术
93 土木工程
95 军事工程
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现行
译：T/CI 334-2024 Design and technical requirements for vibration isolation system for semiconductor equipment适用范围：主要技术内容:本文件规定了半导体设备用隔振系统的设计程序、结构型式和技术要求。本文件适用于隔振器为底部安装的半导体设备隔振系统的设计。本文件中仪器本身被视为系统中已确定的载荷【国际标准分类号(ICS)】 ：39.020精密机械 【中国标准分类号(CCS)】 ：L56半导体集成电路发布单位或类别：(CN-TUANTI)团体标准 | 发布时间： 2024-04-18 | 实施时间： 2024-04-18收藏
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