GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分:碳化硅单晶生长装置
GB/T 10067.417-2023 Basic specifications for electroheating and electromagnetic processing installations—Part 417:Silicon carbide crystal growth installations
基本信息
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发布历史
-
2023年05月
研制信息
- 起草单位:
- 江苏星特亮科技有限公司、西安电炉研究所有限公司、安徽瑞驰新能源有限公司、河南天利热工装备股份有限公司、厦门晓讯新能源科技有限公司、成都粤海金半导体材料有限公司、州市乐萌压力容器有限公司、河北同光半导体股份有限公司、张家港市中亚特种变压器制造有限公司、西安慧金科技有限公司、株洲瑞德尔智能装备有限公司、中山市合硕高品电器有限公司、广东飞成新材料有限公司、西安福莱特热处理有限公司
- 起草人:
- 李留臣、余维江、李琨、曹姣、谢萍、张永武、李明科、赵然、潘燕萍、杨昆、周正星、李小杰、陈佩娴、金星宇、尹丹、段春芳、杨祯
- 出版信息:
- 页数:16页 | 字数:33 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS25.180.10
CCSK61
中华人民共和国国家标准
/—
GBT10067.4172023
电热和电磁处理装置基本技术条件
:
第417部分碳化硅单晶生长装置
Basicsecificationsforelectroheatinandelectromaneticrocessin
pggpg
—:
installationsPart417Siliconcarbidecrstalrowthinstallations
yg
2023-05-23发布2023-12-01实施
国家市场监督管理总局
发布
国家标准化管理委员会
/—
GBT10067.4172023
目次
前言…………………………Ⅲ
引言…………………………Ⅴ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4产品分类…………………2
4.1型号参数……………2
、………………………
4.2单晶炉形式加热方法及代号2
4.3主要参数……………3
5技术要求…………………3
5.1总体要求……………3
5.2设计和制造的补充要求……………4
5.3性能要求……………6
5.4成套要求……………7
6试验方法…………………7
6.1一般要求……………7
6.2压升率的测量………………………7
6.3炉温稳定度的测量…………………7
6.4运动参数相对偏差的测量…………8
6.5速度百分偏差的测量………………8
6.6爬行量的测量………………………8
6.7同轴度的测量………………………8
6.8工业生长晶体试验…………………8
7检验规则…………………9
7.1一般要求……………9
7.2出厂检验项目………………………9
7.3型式检验项目………………………9
、、…………………
8标志包装运输和贮存9
8.1一般要求……………9
8.2其他要求……………10
9订购与供货………………10
9.1一般要求……………10
9.2特殊要求……………10
Ⅰ
/—
GBT10067.4172023
前言
/—《:》
本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定
GBT1.120201
起草。
/《》。/
本文件是GBT10067电热和电磁处理装置基本技术条件的第417部分GBT10067已经发
布了以下部分:
———:;
第部分通用部分
1
———:;
第部分电弧加热装置
2
———:;
第部分大型交流电弧炉
21
———:;
第部分感应电热装置
3
———:;
第部分中频无心感应炉
31
———:;
第部分电压型变频多台中频无心感应炉成套装置
32
———:;
第部分工频无心感应熔铜炉
33
———:;
第部分晶体管式高频感应加热装置
34
———:;
第部分中频真空感应熔炼炉
35
———:;
第部分感应透热装置
36
———:;
第部分间接电阻炉
4
———:;
第部分网带式电阻加热机组
41
———:;
第部分推送式电阻加热机组
42
———:;
第部分强迫对流井式电阻炉
43
———:;
第部分箱式电阻炉
44
———:;
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