GB/T 10067.417-2023 电热和电磁处理装置基本技术条件 第417部分：碳化硅单晶生长装置

ICS25.180.10

CCSK61

中华人民共和国国家标准

/—

GBT10067.4172023

电热和电磁处理装置基本技术条件

:

第417部分碳化硅单晶生长装置

Basicsecificationsforelectroheatinandelectromaneticrocessin

pggpg

—:

installationsPart417Siliconcarbidecrstalrowthinstallations

yg

2023-05-23发布2023-12-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—

GBT10067.4172023

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅴ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4产品分类…………………2

4.1型号参数……………2

、………………………

4.2单晶炉形式加热方法及代号2

4.3主要参数……………3

5技术要求…………………3

5.1总体要求……………3

5.2设计和制造的补充要求……………4

5.3性能要求……………6

5.4成套要求……………7

6试验方法…………………7

6.1一般要求……………7

6.2压升率的测量………………………7

6.3炉温稳定度的测量…………………7

6.4运动参数相对偏差的测量…………8

6.5速度百分偏差的测量………………8

6.6爬行量的测量………………………8

6.7同轴度的测量………………………8

6.8工业生长晶体试验…………………8

7检验规则…………………9

7.1一般要求……………9

7.2出厂检验项目………………………9

7.3型式检验项目………………………9

、、…………………

8标志包装运输和贮存9

8.1一般要求……………9

8.2其他要求……………10

9订购与供货………………10

9.1一般要求……………10

9.2特殊要求……………10

Ⅰ

/—

GBT10067.4172023

前言

/—《:》

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GBT1.120201

起草。

/《》。/

本文件是GBT10067电热和电磁处理装置基本技术条件的第417部分GBT10067已经发

布了以下部分:

———:;

第部分通用部分

1

———:;

第部分电弧加热装置

2

———:;

第部分大型交流电弧炉

21

———:;

第部分感应电热装置

3

———:;

第部分中频无心感应炉

31

———:;

第部分电压型变频多台中频无心感应炉成套装置

32

———:;

第部分工频无心感应熔铜炉

33

———:;

第部分晶体管式高频感应加热装置

34

———:;

第部分中频真空感应熔炼炉

35

———:;

第部分感应透热装置

36

———:;

第部分间接电阻炉

4

———:;

第部分网带式电阻加热机组

41

———:;

第部分推送式电阻加热机组

42

———:;

第部分强迫对流井式电阻炉

43

———:;

第部分箱式电阻炉

44

———:;