GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
GB/T 29505-2013 Test method for measuring surface roughness on planar surfaces of silicon wafer
国家标准
中文简体
现行
页数:28页
|
格式:PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2013-05-09
实施日期
2014-02-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
适用范围
本标准提供了硅片表面粗糙度测量常用的轮廓仪、干涉仪、散射仪三类方法的测量原理、测量设备和程序,并规定了硅片表面局部或整个区域的标准扫描位置图形及粗糙度缩写定义。
本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量;也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙度测量。
本标准不适用于带宽空间波长≤10 nm的测量仪器。
本标准适用于平坦硅片表面的粗糙度测量;也可用于其他类型的平坦晶片材料,但不适用于晶片边缘区域的粗糙度测量。
本标准不适用于带宽空间波长≤10 nm的测量仪器。
可选服务
1,提供正版标准批量采购服务,为企业合规性保驾护航,提供标准文件翻译服务,专家翻译,权威可靠
2,标准数据定制化,可定制企业云端标准数据库,为企业提供标准查询下载以及更新推送服务,实时了解标准时效更新动态
3,标准时效性核查服务,依托最新最全的标准数据库为您提供在线标准时效性核查服务,并开具权威性的标准时效性核查报告(点击查看详情)
4,服务定制咨询联系电话:15102855502(微信同号),QQ:469517676
2,标准数据定制化,可定制企业云端标准数据库,为企业提供标准查询下载以及更新推送服务,实时了解标准时效更新动态
3,标准时效性核查服务,依托最新最全的标准数据库为您提供在线标准时效性核查服务,并开具权威性的标准时效性核查报告(点击查看详情)
4,服务定制咨询联系电话:15102855502(微信同号),QQ:469517676
发布历史
-
2013年05月
研制信息
- 起草单位:
- 有研半导体材料股份有限公司、中国有色金属工业标准计量质量研究所
- 起草人:
- 孙燕、李莉、卢立延、翟富义、向磊
- 出版信息:
- 页数:28页 | 字数:52 千字 | 开本: 大16开
内容描述
ICS29.045
H80
中华人民共和国国家标准
/—
GBT295052013
硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法
Testmethodformeasurinsurfacerouhnessonlanarsurfacesofsiliconwafer
ggp
2013-05-09发布2014-02-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
GBT295052013
目次
前言…………………………Ⅲ
1范围………………………1
2规范性引用文件…………………………1
3术语和定义………………1
4方法提要…………………2
5干扰因素…………………3
6仪器设备…………………3
7粗糙度测量步骤…………………………5
8报告………………………8
()
附录规范性附录粗糙度测量规范和有关输出的例子……………
A9
()
推荐标准
- T/SATA 0006-2018 金合金饰品 表面耐磨性测定 介质研磨法 2018-05-01
- T/CISA 112-2021 锅炉和热交换器用涡节和丁胞换热管 2021-09-08
- T/CIPR 009-2023 可调节弧度的锯齿形铝合金模板 2023-02-13
- T/SZBX 041-2022 钢帘线用热轧盘条 2022-05-20
- T/SSEA 0151-2021 铁镍基和镍基合金无缝管圆管坯 2021-11-22
- T/SSEA 0079-2020 铁路货车转向架用弹簧钢 2020-12-18
- T/CFA 02010204-2016 耐磨耐热钢铸件 2016-03-02
- T/ZZB 2777-2022 四氧化三钴 2022-06-22
- T/ZJCX 0027-2022 20MnMo球阀锻件 2022-10-08
- T/CMES 34009-2022 再制造 轴流压缩机转子总成动平衡试验方法 2022-06-20