GB/T 29505-2013 硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

ICS29.045

H80

中华人民共和国国家标准

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GBT295052013

硅片平坦表面的表面粗糙度测量方法

Testmethodformeasurinsurfacerouhnessonlanarsurfacesofsiliconwafer

ggp

2013-05-09发布2014-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT295052013

目次

前言…………………………Ⅲ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4方法提要…………………2

5干扰因素…………………3

6仪器设备…………………3

7粗糙度测量步骤…………………………5

8报告………………………8

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附录规范性附录粗糙度测量规范和有关输出的例子……………

A9

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