GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准

GB/T 29732-2021 Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis

国家标准 中文简体 现行 页数:13页 | 格式:PDF

基本信息

标准号
GB/T 29732-2021
相关服务
标准类型
国家标准
标准状态
现行
中国标准分类号(CCS)
国际标准分类号(ICS)
发布日期
2021-12-31
实施日期
2022-07-01
发布单位/组织
国家市场监督管理总局、国家标准化管理委员会
归口单位
全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)
适用范围
本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法,用于识别表面常规元素。另外,本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%,微分模式调制幅度的峰值为 2 eV,配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法,具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。
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GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准-第1页
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准-第2页
GB/T 29732-2021 表面化学分析 中等分辨俄歇电子能谱仪 元素分析用能量标校准-第3页

研制信息

起草单位:
清华大学、中国石油大学(北京)
起草人:
姚文清、杨立平、徐同广、王雅君、段建霞、李展平
出版信息:
页数:13页 | 字数:27 千字 | 开本: 大16开

内容描述

ICS71.040.40

CCSG04

中华人民共和国国家标准

/—/:

GBT297322021ISO179732016

代替/—

GBT297322013

表面化学分析中等分辨俄歇电子能谱仪

元素分析用能量标校准

——

SurfacechemicalanalsisMediumresolutionauerelectronsectrometers

ygp

Calibrationofenerscalesforelementalanalsis

gyy

(:,)

ISO179732016IDT

2021-12-31发布2022-07-01实施

国家市场监督管理总局

发布

国家标准化管理委员会

/—/:

GBT297322021ISO179732016

目次

前言…………………………Ⅲ

引言…………………………Ⅳ

1范围………………………1

2规范性引用文件…………………………1

3术语和定义………………1

4符号和缩略语……………1

5方法概述…………………2

6能量标校准步骤…………………………3

6.1准备参考物质………………………3

6.2安装样品……………3

6.3清洁样品……………3

6.4选择能量校准的谱仪设置…………4

6.5仪器操作……………4

6.6参考峰的测量………………………5

6.7确定参考峰的实测动能……………6

6.8确定仪器动能能量标的校准范围…………………6

6.9下一次校准…………………………8

参考文献………………………9

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