GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 14601-2009 Gas for electronic industry—Ammonia
国家标准
中文简体
现行
页数：9页
|
格式：PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
适用范围
本标准适用于半导体工业，氮化硅、氮化镓的化学气相淀积，也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式：NH3。
相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。
分子式：NH3。
相对分子质量：17.031（按2005年国际相对原子质量）。
发布历史
-
1993年08月
-
2009年10月
-
2025年03月
研制信息
- 起草单位：
- 大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院
- 起草人：
- 孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云
- 出版信息：
- 页数：9页 | 字数：14 千字 | 开本： 大16开
内容描述
犐犆犛７１．１００．２０
犌８６
中华人民共和国国家标准
／—
犌犅犜１４６０１２００９
代替／—
ＧＢＴ１４６０１１９９３
电子工业用气体氨
—
犌犪狊犳狅狉犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犻狀犱狌狊狋狉犃犿犿狅狀犻犪
狔
２００９１０３０发布２０１００５０１实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
／—
犌犅犜１４６０１２００９
前言
本标准代替／—《电子工业用气体氨》。
ＧＢＴ１４６０１１９９３
本标准与／—相比主要变化如下：
ＧＢＴ１４６０１１９９３
———修改标准的名称；
———修改适用范围（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６０１１９９３１１
———修改规范性引用文件（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６０１１９９３２２
———修改技术指标内容（／—的第章，本版的第章）；
ＧＢＴ１４６０１１９９３３３
———增加对氨尾气处理的要求（见４．３）；
———删去按规定的方法测定氧含量（／
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