GB/T 14601-2009 电子工业用气体 氨
GB/T 14601-2009 Gas for electronic industry—Ammonia
国家标准
中文简体
现行
页数:9页
|
格式:PDF
基本信息
标准类型
国家标准
标准状态
现行
发布日期
2009-10-30
实施日期
2010-05-01
发布单位/组织
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局、中国国家标准化管理委员会
归口单位
全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分会
适用范围
本标准适用于半导体工业,氮化硅、氮化镓的化学气相淀积,也可用于硅或氧化硅的氮化。
分子式:NH3。
相对分子质量:17.031(按2005年国际相对原子质量)。
分子式:NH3。
相对分子质量:17.031(按2005年国际相对原子质量)。
发布历史
-
1993年08月
-
2009年10月
-
2025年03月
研制信息
- 起草单位:
- 大连光明化工研究院、中国西南油气田成都天然气化工总厂、武汉市鼎立化工有限责任公司、西南化工研究设计院
- 起草人:
- 孙福楠、刘泽军、付永成、谢国清、周鹏云
- 出版信息:
- 页数:9页 | 字数:14 千字 | 开本: 大16开
内容描述
犐犆犛71.100.20
犌86
中华人民共和国国家标准
/—
犌犅犜146012009
代替/—
GBT146011993
电子工业用气体氨
—
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狔
20091030发布20100501实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局
发布
中国国家标准化管理委员会
/—
犌犅犜146012009
前言
本标准代替/—《电子工业用气体氨》。
GBT146011993
本标准与/—相比主要变化如下:
GBT146011993
———修改标准的名称;
———修改适用范围(/—的第章,本版的第章);
GBT14601199311
———修改规范性引用文件(/—的第章,本版的第章);
GBT14601199322
———修改技术指标内容(/—的第章,本版的第章);
GBT14601199333
———增加对氨尾气处理的要求(见4.3);
———删去按规定的方法测定氧含量(/
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