GB/T 14601-1993 电子工业用气体 高纯氨

中华人民共和国国家标准

GB/T14601一93

电子工业用气体高纯氨

Gasesforelectronicindustry-Highpurityammonia

1主题内容与适用范围

本标准规定了电子工业用气体高纯氨的技术要求，试验方法，检验规则及产品的包装、标志、运输、

贮存及安全要求。

本标准适用于瓶装高纯氨。该产品主要用于半导体工业，氮化硅的化学气相淀积，也可用于硅或氧

化硅的氮化。

分子式:NH,

相对分子质量:17.031(按1989年国际相对原子质量)

2弓!用标准

GB19。危险货物包装标志

GB5099钢质无缝气瓶

GB5831气体中微量氧的测定比色法

GB6285气体中微量氧的测定电化学法

GB7144气瓶颜色标志

GB7445氢气

GB8980高纯氮

GB8984气体中一氧化碳、二氧化碳和甲烷的测定气相色谱法

GB10625高纯氢中微量氮的测定电子迁移气相色谱法

GB14606气体中总烃的测定火焰离子化检测法

3技术要求

电子工业用气体高纯氨的质量应符合下表的技术要求。

项目指标

氨的纯度，10-1)99.999

氧含量,1。一‘<2

氮含量.1。一“<5

一氧化碳含量.1。~‘<1

kz(CG^C,)含量,10-1<1

水含量，10-1<5

总杂质含量10-110

注:纯度及含量均以体积分数表示。

国家技术监普局1993一08一26批准1994一07一01实施

GB/T14601一93

4检验方法

4-1盆纯度的测定

按式((1)计算氨的纯度。

P=10。一(仍+叽+PS+P4十9})x10-"············……(1)

式中:91-氨的纯度，10-3;

外—氧含量,10-0;

9Pe氮含量，10-`;

外—一氧化碳含量,10-s,

9}4-烃(CI-C3)含量,10-b;

叽—水含量,10-`0

4.2级含f的测定

4.2,，按GB583