T/ICMTIA BS0029-2022 集成电路材料产品成熟度等级划分及定义

ICS01.040.03

CCSA00

ICMTIA

集成电路材料产业技术创新联盟团体标准

T/ICMTIABS0029—2022

集成电路材料产品成熟度等级划分及定义

ClassificationanddefinitionoftheproductmaturitylevelsforICmaterials

2022-07-04发布2022-07-31实施

中关村集成电路材料产业技术创新联盟发布

T/ICMTIABS0029—2022

目次

前言.................................................................................II

1范围...............................................................................1

2规范性引用文件.....................................................................1

3术语和定义.........................................................................1

4产品成熟度等级划分及要求...........................................................1

等级划分.......................................................................2

等级条件.......................................................................2

5判定规则...........................................................................4

参考文献..............................................................................5

I

T/ICMTIABS0029—2022

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

本文件由中关村集成电路材料产业技术创新联盟提出并归口。

本文件起草单位：中关村集成电路材料产业技术创新联盟、晶瑞电子材料股份有限公司、沧州信联

化工有限公司、洛阳中硅高科技有限公司、欧中电子材料（重庆）有限公司、安集微电子科技（上海）

股份有限公司、北京科华微电子材料有限公司、上海新阳半导体材料股份有限公司、湖北兴福电子材料

有限公司、广州广芯封装基板有限公司、新昇半导体科技有限公司、中巨芯科技股份有限公司、有研亿

金新材料有限公司、中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司、宁波江丰电子材料股份有限公司、有研

半导体硅材料股份公司、全椒南大光电材料有限公司、烟台德邦科技股份有限公司、浙江金瑞泓科技股

份有限公司、江苏鑫华半导体材料科技有限公司、广东华特气体股份有限公司、大连保税区科利德化工

科技开发有限公司、福建德尔科技有限公司、江阴润玛电子材料股份有限公司、江苏华海诚科新材料股

份有限公司、联仕（昆山）化学材料有限公司、上海正帆科技股份有限公司、苏州金宏气体股份有限公

司、荣耀电子材料（重庆）有限公司、沁阳国顺硅源光电气体有限公司、湖北鼎汇微电子材料有限公司、

绿菱电子材料（天津）有限公司、安徽亚格盛电子新材料有限公司。

本文件主要起草人：石瑛、邓希、张香芝、宁一霖、王佳、王大方、刘兵、孙炜金旭、宁晓晓、

雷海平、荆建芬、李欣、刘杰、史筱超、李少平、崔会东、徐婧、冯天、陈刚、吕保国、丁照崇、丁成、

王志民、姚力军、廖培君、曹孜、赵而敬、孙建、徐友志、梁兴勃、赵培芝、傅铸红、茹高艺、施旖旎、

张晓明、张丽萍、何珂、戈烨铭、韩江龙、侍二增、林益兴、李东升