GB/T 31058-2026 电子气体 四氟化硅

ICS7110020

CCSG.86.

中华人民共和国国家标准

GB/T31058—2026

代替GB/T31058—2014

电子气体四氟化硅

Electronicgas—Silicontetrafluoride

2026-04-30发布2026-11-01实施

国家市场监督管理总局发布

国家标准化管理委员会

GB/T31058—2026

前言

本文件按照标准化工作导则第部分标准化文件的结构和起草规则的规定

GB/T1.1—2020《1:》

起草

。

本文件代替电子工业用气体四氟化硅与相比除结

GB/T31058—2014《》,GB/T31058—2014,

构调整和编辑性改动外主要技术变化如下

,:

更改了范围见第章年版的第章

a)(1,20141);

更改了四氟化硅应符合的技术要求见第章年版的第章

b)(4,20143);

更改了采样的要求见第章年版的

c)(5,20144.1.3);

更改了纯度计算方法见年版的

d)(6.1,20144.2);

更改了氢氧氩氮一氧化碳二氧化碳甲烷含量的测定方法见年版的

e)、+、、、、(6.2,20144.3);

更改了硫化氢二氧化硫含量的测定方法见年版的

f)、(6.3,20144.4);

增加了氟化氢含量的测定方法见

g)(6.4);

增加了金属元素及其他元素含量的测定方法见

h)(6.5);

更改了检验规则见第章年版的

i)(7,20144.1);

更改了标志包装运输及贮存的要求见年版的

j)、、(8.1、8.2,20145.1);

更改了安全信息见年版的

k)(8.3,20145.2)。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利本文件的发布机构不承担识别专利的责任

。。

本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出并归口

(SAC/TC203)。

本文件起草单位浙江中宁硅业股份有限公司福建德尔科技股份有限公司昊华气体有限公司西

:、、

南分公司浙江理工大学嵊州创新研究院有限公司成都产品质量检验研究院有限责任公司重庆同辉

、、、

气体有限公司湖北和远气体股份有限公司齐磷科技开阳有限责任公司天津绿菱气体股份有限公

、、()、

司大连华邦化学有限公司太和气体荆州有限公司福建福豆新材料有限公司中船邯郸派瑞特种

、、()、、()

气体股份有限公司贵州瓮福蓝天氟化工股份有限公司福建久策气体股份有限公司北京普瑞分析仪

、、、

器有限公司三峡大学衢州市计量质量检验研究院贵州省产品质量检验检测院中国计量大学浙江

、、、、、

省化工研究院有限公司上海华爱色谱分析技术有限公司大连大特气体有限公司杭州云必技术有限

、、、

公司宿州伊维特新材料有限公司布鲁克北京科技有限公司液化空气中国投资有限公司科哲

、、()、()、

上海阀门有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司联雄投资上海有限公司昆明

()、、()、

广瑞达特种气体有限责任公司攀钢集团攀枝花钢钒有限公司中国计量科学研究院杭州新世纪混合

、、、

气体有限公司和立气体上海有限公司大连光明化学工业气体质量监测中心有限公司成都分公司

、()、、

中国计量测试学会北京睿信捷环保科技有限公司福建优力特材料科技有限公司上海市计量测试技

、、、

术研究院有限公司天策标准化服务天津有限公司上海凡伟仪器设备有限公司中昊光明化工研究

、()、、

设计院有限公司爱尔兰仪器有限公司北京代表处西南化工研究设计院有限公司

、AGC、。

本文件主要起草人栗广奉张朝春赵斌沈永淼宋雄斐林德荣黄加斗刘辉江罗杜鹏举

:、、、、、、、、、、

刘志新赵云王新鹏汤萍侯鹏钱吉阳辉吴文静马建修唐忠福张净普贾静姗殷玲张楠

、、、、、、、、、、、、、、

柳曦袁有录史兰徐小捷程化鹏史婉君陈超钟卉菲方华刘学生夏红真尚柏羊赵跃蒋昊

、、、、、、、、、、、、、、

韩伶利贾任远任超梁永强李安林谈益强尹乐乐殷昊朱安民王阳黄辉张朋越高静范军

、、、、、、、、、、、、、、

尹冬梅刘智勇赖晓峰杨扬仲夫王晓文赵洁袁其龙常燕任逸尘董志仪唐中伟杨康任希辉

、、、、、、、、、、、、、

Ⅰ

GB/T31058—2026

刘英杰李洪佳周鹏云唐霞梅王康茂

、、、、。

本文件及其所代替文件的历次版本发布情况为

:

年首次发布为

———2014GB/T31058—2014;

本次为第一次修订

———。

Ⅱ

GB/T31058—2026

电子气体四氟化硅

1范围

本文件规定了四氟化硅的技术要求采样检验规则标志包装运输贮存及安全信息的要求描述

、、、、、,

了相应的试验方法

。

本文件适用于以二氧化硅与氟化氢为原料制备或六氟硅酸钠分解制备或氟硅酸分解制备的四氟

化硅

。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款其中注日期的引用文

。,

件仅该日期对应的版本适用于本文件不注日期的引用文件其最新版本包括所有的修改单适用于

,;,()

本文件

。

危险货物包装标志

GB190

纯氦高纯氦和超纯氦

GB/T4844、

所有部分钢质无缝气瓶

GB/T5099()

气瓶颜色标志

GB/T7144

数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T8170

液化气体气瓶充装规定第部分工业气瓶

GB/T14193.11:

化学品安全标签编写规定

GB15258

气瓶警示标签

GB/T16804

气体分析氦离子化气相色谱法

GB/T28726

气体分析气体中微量硫化合物含量的测定火焰光度气相色谱法

GB/T28727

大容积钢质无缝气瓶

GB/T33145

电子工业用气体中金属含量的测定电感耦合等离子体质谱法

GB/T34972

气体分析采样导则

GB/T43306

电子气体中酸度的测定第部分傅里叶变换红外光谱法

GB/T46384.11:

气瓶安全技术规程

TSG23

3术语和定义

本文件没有需要界定的术语和定义

。

4技术要求

四氟化硅的技术要求应符合表的规定

1。

1