GB/T 34972-2017 电子工业用气体中金属含量的测定 电感耦合等离子体质谱法

ICS71.040.40

G86

中华人民共和国国家标准

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GBT349722017

电子工业用气体中金属含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

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Determinationofmetalcontentinases

g

Inductivelcouledlasmamasssectrometrmethod

ypppy

2017-11-01发布2018-02-01实施

中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局

发布

中国国家标准化管理委员会

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GBT349722017

前言

本标准按照/—给出的规则起草。

GBT1.12009

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Ⅰ

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GBT349722017

电子工业用气体中金属含量的测定

电感耦合等离子体质谱法

1范围

。

本标准规定了应用电感耦合等离子体质谱仪测定电子工业用气体中金属元素含量的方法金属元

素测定范围见表1。

:、、、、、、、、、、

本标准适用的电子工业用气体种类氧氮氩氦氢氨氯化氢硅烷高纯氯六氟化硫三氯化

、、、、。

硼三氟化氮氧化亚氮六氟乙烷六氟丁二烯等气体

:。

本标准适用的电子工业用气体取样状态气态

表1金属元素测定范围

元素测定范围/(/)元素测定范围/(/)

μgLμgL

Li0.0001~100.0Ce0.0005~100.0

Be0.0005~100.0Pr0.0005~100.0

Na0.0001~100.0Nd0.0005~100.0

Mg0.0005~100.0Pm0.0005~100.0

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Al0.001~100.0Sm0.0005~100.0

K0.001~100.0Eu0.0005~100.0

Ca0.001~100.0Gd0.0005~100.0

Sc0.001~100.0Tb0.0005~100.0

Ti0.0001~100.0Dy0.0005~100.0

V0.0001~100.0Ho0.0005~100.0

Cr0.0005~100.0Er0.0005~100.0

Mn0.0001~100.0Tm0.0005~100.0

Fe0.001~100.0Yb0.0005~100.0

Co0.0005~100.0Lu0.0005~100.0

Ni0.001~100.0Hf0.0005~100.0

Cu0.0005~100.0Ta0.0005~100.0

Zn0.0001~100.0W0.001~100.0

Ga0.001~100.0Re0.0005~100.0

Ge0.001~100.0Os0.0005~100.0

Rb0.0005~100.0Ir0.0001~100.0

Sr0.0001~100.0Pt0.001~100.0

Y0.0001~100.0Au0.0001~100.0

Zr0.0005~100.0Hg0.001~100.0

1

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GBT349722017

()

表续

1

元素测定范围/(/)元素测定范围/(/)

μgLμgL

Nb0.0005~100.0Ti0.001~100.0

Mo0.0001~100.0Pb0.0001~100.0

Tc0.0005~100.0Bi0.0005~100.0

Ru0.0001~100.0Po0.0005~100.0

Rh