T/EJCCCSE 532-2025 电子级硅烷气
T/EJCCCSE 532-2025 Electron-grade silane gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/EJCCCSE 532-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-08-21
实施日期
2025-09-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国商业股份制企业经济联合会
适用范围
本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。
本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积等工艺所用的电子级硅烷气
发布历史
-
2025年08月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 浙江亚格新安电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
- 起草人：
- 郑春宁、李文强、何茂、徐聪、江罗、田润朝、钱吉、郭锐、周海辉、潘晓敏
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/CSAE 157-2020 合作式智能运输系统 车用通信系统应用层及应用数据交互标准（第二阶段） 2020-11-26
- T/SHDSGY 147-2022 燃烧循环脉冲控制系统 2022-11-30
- T/CQCBDS 0018-1-2018 VR双人动感设备动力机构规范 2019-01-31
- T/CARD 017-2021 个人听力信息数据格式 2021-12-17
- T/CESA 1160-2021 移动智能终端未成年人保护通用规范 2021-05-27
- T/CCSA 310.3-2021 公共安全大数据 第3部分：安全 2021-06-25
- T/SDIOT 028-2022 建筑垃圾分类消纳与称重信息化系统技术规范 2022-12-21
- T/CESA 1154-2021 信息技术服务 从业人员能力评价指南 设计与开发服务 2021-04-26
- T/SPEMF 0028-2021 交互式一体机评估技术规范 2021-09-23
- T/SCMES 14-2022 柔性制造系统与集成 控制系统对象模型 2022-12-05