T/EJCCCSE 532-2025 电子级硅烷气
T/EJCCCSE 532-2025 Electron-grade silane gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/EJCCCSE 532-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-08-21
实施日期
2025-09-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国商业股份制企业经济联合会
适用范围
本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。
本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积等工艺所用的电子级硅烷气
发布历史
-
2025年08月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 浙江亚格新安电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
- 起草人：
- 郑春宁、李文强、何茂、徐聪、江罗、田润朝、钱吉、郭锐、周海辉、潘晓敏
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- T/NMSP MZB01.40-2023 “蒙”字标农产品认证要求 阿拉善盐藻 2023-12-20
- T/HNAAAJD 0003-2023 湖南省事故车辆损失鉴定评估规范 2023-02-17
- T/WLCIA 8-2025 武胜大雅柑包装技术规程 2025-01-02
- T/SASJL 0064-2025 寒区纯电动乘用车坡道起步能力评价指标 2025-01-02
- T/WLCIA 3-2021 武胜大雅柑花果管理及采收技术规程 2021-01-01
- T/WLCIA 1-2025 武胜大雅柑无病毒苗木繁育与栽植技术规程 2025-01-02
- T/FXXH 009-2025 露地富硒黄瓜生产技术规程 2025-01-02
- T/WLCIA 3-2025 武胜大雅柑花果管理技术规程 2025-01-02
- T/WLCIA 7-2025 武胜大雅柑商品化处理技术规程 2025-01-02
- T/WLCIA 5-2025 武胜大雅柑整形修剪技术规程 2025-01-02