T/EJCCCSE 532-2025 电子级硅烷气
T/EJCCCSE 532-2025 Electron-grade silane gas
团体标准
中文(简体)
现行
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格式：PDF
基本信息
标准号
T/EJCCCSE 532-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-08-21
实施日期
2025-09-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国商业股份制企业经济联合会
适用范围
本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。
本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积等工艺所用的电子级硅烷气
发布历史
-
2025年08月
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研制信息
- 起草单位：
- 浙江亚格新安电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
- 起草人：
- 郑春宁、李文强、何茂、徐聪、江罗、田润朝、钱吉、郭锐、周海辉、潘晓敏
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
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