T/EJCCCSE 532-2025 电子级硅烷气
T/EJCCCSE 532-2025 Electron-grade silane gas
团体标准
中文(简体)
现行
页数：0页
|
格式：PDF
基本信息
标准号
T/EJCCCSE 532-2025
标准类型
团体标准
标准状态
现行
发布日期
2025-08-21
实施日期
2025-09-20
发布单位/组织
-
归口单位
中国商业股份制企业经济联合会
适用范围
本文件规定了电子级硅烷气的技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输与贮存。
本文件适用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延沉积、二氧化硅低温化学气相沉积、非晶硅薄膜沉积等工艺所用的电子级硅烷气
发布历史
-
2025年08月
文前页预览
当前资源暂不支持预览
研制信息
- 起草单位：
- 浙江亚格新安电子新材料有限公司、大连华邦化学有限公司、安徽湛为气体有限公司、金宏气体股份有限公司、湖北和远气体股份有限公司、亚洲硅业(青海)股份有限公司、海利天成标准技术服务（北京）有限公司、华盛通标（北京）技术服务有限公司
- 起草人：
- 郑春宁、李文强、何茂、徐聪、江罗、田润朝、钱吉、郭锐、周海辉、潘晓敏
- 出版信息：
- 页数：- | 字数：- | 开本： -
内容描述
暂无内容
定制服务
推荐标准
- JT/T 710-2008 公路桥涵用波形钢板 2008-04-03
- GB/T 11490-1989 彩色显像管管基尺寸 1989-03-31
- QJ 1356-1988 导弹运载火箭电气和电子设备安装设计通用规范 1988-02-02
- HB 4-75-1976 液压系统机上活门 1976-10-27
- HG/T 3638-1999 文件复制胶片尺寸 1999-06-16
- DL/T 540-1994 QJ-25(50,80)型气体继电器检验规程 1994-04-11
- YBB 00272002-2015 钠钙玻璃模制药瓶 2015-08-11
- JT/T 860.3-2014 沥青混合料改性添加剂 第3部分:阻燃剂 2014-06-27
- HB 2474-1977 叉形支座 1977-10-01
- HB 2524-1977 车架 1977-10-01